| 번호 | 청구항 |
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| 1 | 제 9 항에 있어서,상기 점착층은 저밀도 폴리에틸렌, 저분자 폴리머, 또는, 자외선 또는 적외선 경화 폴리머 중 어느 하나를 포함하는 것인, 기체 및 수분 차단용 그래핀 보호막의 형성 방법. |
| 1 | 제 1 항에 있어서,상기 유연성 기판 상에 그래핀 필름을 전사하여 코팅하는 것을 복수회 수행하는 것을 포함하는, 기체 및 수분 차단용 그래핀 보호막의 형성 방법. |
| 1 | 제 1 항에 있어서,상기 그래핀 필름은 1 층 내지 100 층의 그래핀 필름을 포함하는 것인, 기체 및 수분 차단용 그래핀 보호막의 형성 방법. |
| 1 | 삭제 |
| 1 | 제 1 항 내지 제 3 항 및 제 5 항 내지 제 12 항 중 어느 한 항에 따른 방법에 의하여 형성되는 기체 및 수분 차단용 그래핀 보호막을 포함하는 유연성 배리어 시트. |
| 1 | 제 14 항에 있어서, 상기 유연성 기판은 플라스틱 기판, 유기 발광 디바이스(OLED) 용 기판 또는 식음료 용기용 시트 중 어느 하나를 포함하는 것인, 유연성 배리어 시트. |
| 1 | 제 14 항에 있어서, 상기 기체 및 수분 차단용 그래핀 보호막은 상기 그래핀 필름 상에 산화물층 또는 절연성 고분자층을 추가 포함하는 것인, 유연성 배리어 시트. |
| 1 | 제 14 항에 있어서, 상기 기체 및 수분 차단용 그래핀 보호막은 상기 유연성 기판과 상기 그래핀 필름 사이에 금속층을 추가 포함하는 것인, 유연성 배리어 시트. |
| 1 | 삭제 |
| 1 | 제 17 항에 있어서, 상기 유연성 기판은 폴리이미드(PI), 폴리에테르설폰(PES), 폴리에테르에테르케톤(PEEK), 폴리에틸렌테레프탈레이트(PET) 또는 폴리카보네이트(PC) 중 어느 하나를 포함하는 것인, 유연성 배리어 시트. |
| 1 | 제 14 항에 있어서, 상기 그래핀 필름의 제조는 플라즈마 화학기상증착법을 이용하여 수행되는 것인, 유연성 배리어 시트. |
| 1 | 삭제 |
| 1 | 제 14 항에 따른 유연성 배리어 시트를 포함하는 물품. |
| 1 | 제 22 항에 있어서, 상기 물품은 전자 장치, 광전자 장치, 광학 장치, 발광 장치, OLED(유기 발광 디바이스), 유기 반도체 장치, LCD 디스플레이, 태양광 장치, 박막 센서, 또는 식음료 용기 중 어느 하나인, 물품. |
| 1 | 제 7 항에 있어서, 상기 그래핀 필름과 상기 산화물층 사이 또는 상기 그래핀 필름과 상기 절연성 고분자층 사이에 접착층을 형성하는 것을 추가 포함하는, 기체 및 수분 차단용 그래핀 보호막의 형성 방법. |
| 1 | 제 1 항에 있어서, 상기 롤투롤 공정은, 상기 기재 상에 제조된 그래핀 필름과 상기 유연성 기판을 접촉시켜 제 1 롤러부를 통과하도록 함으로써 기재-그래핀 필름-유연성 기판을 포함하는 제 1 적층체를 형성하고; 및제 2 롤러부를 이용하여, 상기 제 1 적층체를 에칭 용액 내로 함침시켜 통과하도록 함으로써, 상기 제 1 적층체로부터 상기 기재를 제거하거나 또는 분리함과 동시에 상기 그래핀 필름을 상기 유연성 기판 상에 전사하여 코팅하는 것:을 포함하는 것인, 기체 및 수분 차단용 그래핀 보호막의 형성 방법. |
| 1 | 삭제 |
| 1 | 제 1 항에 있어서, 상기 기재는 그의 표면 상에 그래핀 형성용 금속촉매층이 형성되어 있는 것인, 기체 및 수분 차단용 그래핀 보호막의 형성 방법. |
| 1 | 제 1 항에 있어서, 상기 유연성 기판은 점착층이 형성되어 있는 것인, 기체 및 수분 차단용 그래핀 보호막의 형성 방법. |
| 1 | 기재에 탄소 소스를 포함하는 반응 가스 및 열을 제공하여 300℃ 내지 2000℃ 의 온도에서 반응시킴으로써 상기 기재 상에 그래핀 필름을 제조하는 단계; 및롤투롤 공정에 의하여 상기 제조된 그래핀 필름을 유연성 기판 상에 전사하여 코팅하는 단계:를 포함하는, 기체 및 수분 차단용 그래핀 보호막의 형성 방법. |
| 1 | 제 1 항에 있어서, 상기 유연성 기판은 플라스틱 기판, 유기 발광 디바이스(OLED) 용 기판 또는 식음료 용기용 시트 중 어느 하나를 포함하는 것인, 기체 및 수분 차단용 그래핀 보호막의 형성 방법. |
| 1 | 제 1 항에 있어서, 상기 기재 상의 그래핀 필름 상에 유기물 지지층을 형성하는 단계를 추가 포함하는, 기체 및 수분 차단용 그래핀 보호막의 형성 방법. |
| 1 | 제 1 항에 있어서, 상기 유연성 기판 상에 코팅된 그래핀 보호막 상에 산화물층 또는 절연성 고분자층을 형성하는 단계를 추가 포함하는, 기체 및 수분 차단용 그래핀 보호막의 형성 방법. |
