특허 요약
본 발명은 나노분말을 이용한 가스센서 제작방법에 관한 것으로 더욱 상세하게는 기 형성된 금속 전극 사이에 나노분말을 간단한 방법으로 도포한 후, 소결을 통해 나노분말입자들을 연결하여 기체가 검지 물질과 닿는 면적을 극대화하며 검지물질 틈사이로 기체의 확산을 빠르게 하여 검지 물질의 반응성을 크게 향상 시킬 수 있는 소결을 통하여 네킹된(necked) 나노 분말을 이용한 가스센서를 제작방법에 관한 것이다. 본 발명은 금속 전극 사이 또는 절연층 상부에 나노 분말을 도포한 후에 나노분말들을 소결해서 나노분말들이 연결되게 하여 가스 센서를 제작하는 것을 특징으로 한다. 가스센서, 나노분말, 소결
청구항
번호청구항