| 번호 | 청구항 |
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| 1 | 광원으로부터 출력되는 광을 측정대상물에 조사시켜, 해당 측정대상물로부터 반사되는 반사광을 획득하는 광학모듈; 및상기 광학모듈에서 획득한 반사광을 층밀림시키기 위해 해당 반사광을 편광시켜 미러부에 조사하고, 상기 미러부에서 반사되는 광을 통해 광간섭 신호를 생성하는 신호생성부;를 구비하고,상기 신호생성부는상기 광학모듈에서 입사되는 반사광의 광 경로 상에 설치되어 해당 반사광을 편광시키는 선형편광기;상기 선형편광기에서 편광된 반사광을 상기 미러부에 조사하는 빔스플리터;상기 빔스플리터 및 미러부 사이에 설치되며, 상기 미러부로 입사되는 상기 반사광을 편광시키되, 해당 반사광을 상호 상이한 방향으로 회절되는 복수의 편광으로 분할하며, 상기 미러부에서 반사되는 상기 편광들을 재차 회절시키는 제1편광부;상기 제1편광부에서 출사되는 편광들을 검출하고, 검출된 편광들을 토대로 광간섭 신호를 생성하는 광검출 모듈;을 구비하는,층밀림 위상차 영상 획득 모듈 장치. |
| 2 | 삭제 |
| 3 | 제1항에 있어서, 상기 제1편광부는 상기 빔스플리터로부터 입사되는 반사광을, 해당 반사광의 광축 선에 대해 소정의 각도를 갖고 상호 상이한 방향으로 회절되어 상기 미러부로 출력되는 좌원 편광 및 우원 편광으로 분할하고, 상기 미러부에서 반사된 상기 좌원 편광 및 우원 편광을 상기 반사광의 광축 선과 나란한 방향으로 상기 빔스플리터에 출사하는, 층밀림 위상차 영상 획득 모듈 장치. |
| 4 | 제1항에 있어서, 상기 빔스플리터는 상기 선형편광기에서 입사되는 반사광을 상호 교차되는 방향으로 출사되는 제1 및 제2분할광으로 분할하고, 상기 미러부는 해당 제1분할광의 광 경로 상에 설치되는 제1미러와, 해당 제2분할광의 광 경로 상에 설치되는 제2미러를 구비하고,상기 제1편광부는 상기 빔스플리터 및 제1미러 사이에 설치되어 상기 제1분할광을 편광시키되, 해당 제1분할광을 복수의 편광으로 회절 및 분할하여 상기 제1미러로 출사하고, 상기 제1미러에서 반사된 편광을 재차 회절시켜 출사하는 제1편광부재; 및상기 빔스플리터 및 제2미러 사이에 설치되어 상기 제2분할광을 편광시키되, 해당 제2분할광을 복수의 편광으로 회절 및 분할하여 상기 제2미러로 출사하고, 상기 제2미러에서 반사된 편광을 재차 회절시켜 출사하는 제2편광부재;를 구비하는, 층밀림 위상차 영상 획득 모듈 장치. |
| 5 | 제4항에 있어서,상기 제1편광부재는 상기 빔스플리터로부터 입사되는 제1분할광을, 해당 제1분할광의 광축 선에 대해 소정의 각도를 갖고 상호 상이한 방향으로 회절되어 상기 제1미러로 출력되는 제1좌원 편광 및 제1우원 편광으로 분할하고, 상기 제1미러에서 반사된 상기 제1좌원 편광 및 제1우원 편광을 상기 제1분할광의 광축 선과 나란한 방향으로 상기 빔스플리터에 출사하는, 층밀림 위상차 영상 획득 모듈 장치. |
| 6 | 제4항에 있어서, 상기 제2편광부재는 상기 빔스플리터로부터 입사되는 제2분할광을, 해당 제2분할광의 광축 선에 대해 소정의 각도를 갖고 상호 상이한 방향으로 회전되어 상기 제2미러로 출력되는 제2좌원 편광 및 제2우원 편광으로 분할하고, 상기 제2미러에서 반사된 상기 제2좌원 편광 및 제2우원 편광을 상기 제2분할광의 광축 선과 나란한 방향으로 상기 빔스플리터에 출사하는,층밀림 위상차 영상 획득 모듈 장치. |
| 7 | 제1항에 있어서, 상기 신호생성부는 상기 미러부에 설치되며, 상기 반사광의 층밀림량을 조절할 수 있도록 상기 미러부를 상기 제1편광부에 인접되거나 멀어지게 이동시키는 구동기;를 더 구비하는,층밀림 위상차 영상 획득 모듈 장치. |
| 8 | 제1항에 있어서, 상기 빔스플리터는 상기 미러부에서 반사된 광을 상기 광검출모듈로 출사하고,상기 광검출 모듈은상기 빔스플리터에서 출사되는 광을 검출하는 광검출부; 및상기 빔스플리터 및 카메라 사이에 설치되며, 해당 카메라로 입사되는 광을 편광시키는 제2편광부;를 구비하는,층밀림 위상차 영상 획득 모듈 장치. |
| 9 | 제1항에 있어서, 상기 광학모듈은 상기 광원에서 출력되는 광을 반사하여 상기 측정대상물에 입사시키되, 해당 측정대상물로부터 반사되는 반사광을 투과시켜 상기 신호생성부로 출사하는 광분배기;를 구비하는,층밀림 위상차 영상 획득 모듈 장치. |
| 10 | 제8항에 있어서, 상기 광학모듈은 상기 광원 및 광분배기 사이에 설치되어 상기 광원에서 출력되는 광을 평행광으로 시준시키는 콜리메이팅 렌즈;를 더 구비하는,층밀림 위상차 영상 획득 모듈 장치. |
| 11 | 제1항에 있어서, 상기 신호생성부는 상기 선형 편광기와 빔스플리터 사이에 설치되어 상기 선형 편광기에서 편광된 반사광을 집속시켜 상기 빔스플리터로 출사하는 튜브렌즈;를 더 구비하는,층밀림 위상차 영상 획득 모듈 장치. |
