주식회사 셀트론
반도체 제조에 사용되는 가스 캐비넷
Gas cabinet
특허 요약
본 발명은 반도체 제조에 사용되는 가스 캐비넷에 관한 것으로, 본 발명에 따른 가스 캐비넷은 가스 누설 감지기, 밸브 셔터 등의 안전 장치를 갖추고 있다. 따라서 반도체 제조 공정에 사용되는 초고순도의 독성 가스의 공급 과정에서 일부 누설 현상이 발생할 경우 즉시 감지하여 경고함으로써 안전 사고를 미연에 방지할 수 있다.
청구항
| 번호 | 청구항 |
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| 1 | 가스 누설을 감지하는 가스 누설 감지기;가스 누설 등의 비상 상황 발생시 점멸되어 사용자에게 경고를 수행하는 시그널 타워 램프;장비 상태 및 사용자 명령을 입력받기 위한 터치 인터페이스;비상 상황 발생시 장비의 작동을 즉시 중단시키는 긴급 차단 버튼; 및가스 흐름을 차단하는 밸브 셔터;를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조에 사용되는 가스 캐비넷. |
