| 번호 | 청구항 |
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| 1 | 반도체 공정에서 발생되는 배기가스를 이송시키는 배관에 있어서,직선구간에 배치되는 직선관과, 상기 직선관에 연결되어 가스의 흐름 방향을 전환하거나 분기시키는 방향전환부속관과, 상기 방향전환부속관에 연결되는 직선관으로 이루어지되,상기 직선관 또는 방향전환부속관의 연결부위에 결합되며, 내부의 이송 가스가 통과하는 관연결부;상기 관연결부에 연결되며, 관연결부의 내부에 냉각에어를 공급하는 냉각에어공급부;를 포함하고,상기 관연결부는, 내부에 통로가 형성되며, 양단에는 통로와 통하는 개구부가 형성되고, 양단 개구부에 각기 체결공을 갖는 플랜지가 형성되고, 상기 통로의 내부에 끼움결합되며 내주면에 내면 보호부가 형성된 내관체를 포함하는 것으로,상기 내관체의 외주면에 형성된 끼움돌기와, 상기 관연결부의 통로의 내주면에 슬롯이 형성되어 내관체의 끼움돌기가 끼움결합되도록 하고,상기 내관체의 벽에 관통되어 포트홀이 형성되고, 상기 관연결부의 벽에 관통되어 상기 포트홀과 일치되는 체결공이 형성되며, 상기 냉각에어공급부는, 상기 관연결부의 체결공에 결합되는 포트;상기 포트에 연결되며 역류방지용 체크밸브가 형성된 바이패스관;상기 바이패스관에 연결되는 송기휀이 구비된 에어탱크;상기 에어탱크의 출구측에 형성되며 송기휀에 근접되게 장착되는 필터;를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 설비용 가스 배관. |
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| 1 | 제 1항에 있어서,상기 관연결부에 결합되며 내관체에 삽입되어 온도를 측정하는 센서;를 포함하고, 상기 센서는 제어부에 연결되며, 상기 제어부가 냉각에어공급부의 온-오프 작동을 제어하고, 상기 내면 보호부는,내관체의 내면에 코팅되는 하도층과, 상기 하도층과 중첩되는 상도층; 상기 하도층과 상도층 사이에 삽입되며 위사와 경사로 직조된 속지를 포함하며, 상기 속지는 열차폐성 재료가 코팅된 원사를 위사 및 경사로 직조하여 그물형상으로 직조시켜 다수의 망목을 갖도록 형성되어 이루어진 것을 특징으로 하는 반도체 제조 설비용 가스 배관. |
