플라즈마를 분사하는 제1 분사구를 갖는 제1 노즐;상기 제1 노즐과 이격되고, 상기 제1 노즐에서 분사된 플라즈마가 통과하는 적어도 하나의 제2 분사구를 포함하는 제2 노즐;상기 제2 노즐과 이격되고, 상기 제1 노즐과 결합되는 결합 부재; 및상기 제2 노즐과 상기 결합 부재를 연결하는 한 쌍의 연결 부재들을 포함하고, 상기 제2 노즐은 상기 제2 분사구 내로 증착 재료를 주입하는 적어도 하나의 주입 유로를 포함하고, 상기 제2 노즐은,상기 한 쌍의 연결 부재들 중 어느 하나가 삽입되는 삽입부; 및 상기 삽입부와 이격되고, 상기 연결 부재들 중 나머지 하나가 삽입되는 원호 형상의 레일부를 포함하고, 상기 레일부에 삽입된 상기 연결 부재는 상기 레일부를 따라 이동하여 상기 제1 노즐을 시계 방향 또는 반시계 방향으로 이동시키는 것을 특징으로 하는 분사 노즐 장치.

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제 1항에 있어서,상기 제2 분사구는 복수개 구비되고, 복수의 상기 제2 분사구들은 상기 삽입부와 상기 레일부 사이에 위치되며, 상기 레일부의 길이 방향을 따라 배열되는 것을 특징으로 하는 분사 노즐 장치.

플라즈마를 분사하는 제1 분사구를 갖는 제1 노즐;상기 제1 노즐과 이격되고, 상기 제1 노즐에서 분사된 플라즈마가 통과하는 적어도 하나의 제2 분사구를 포함하는 제2 노즐;상기 제2 노즐과 이격되고, 상기 제1 노즐과 결합되는 결합 부재; 및상기 제2 노즐과 상기 결합 부재를 연결하는 한 쌍의 연결 부재들을 포함하고, 상기 제2 노즐은 상기 제2 분사구 내로 증착 재료를 주입하는 적어도 하나의 주입 유로를 포함하고, 상기 제2 노즐은,한 쌍의 상기 연결 부재들 중 어느 하나가 삽입되는 원호 형상의 제1 레일부; 및 상기 제1 레일부와 이격되고, 한 쌍의 상기 연결 부재들 중 나머지 하나가 삽입되는 원호 형상의 제2 레일부를 포함하고, 상기 연결 부재들 각각은 상기 제1 레일부 및 상기 제2 레일부를 따라 상기 제1 노즐을 시계 방향 또는 반시계 방향으로 이동하는 것을 특징으로 하는 분사 노즐 장치.

제 4항에 있어서상기 제2 분사구는 복수개 제공되고, 상기 복수의 제2 분사구는 상기 제1 레일부와 상기 제2 레일부 사이에 위치되고, 상기 제2 분사구는 상기 제1 레일부의 길이 방향과 상기 제2 레일부의 길이방향을 따라 배열되는 것을 특징으로 하는 분사 노즐 장치.

제 1항 또는 제 4항에 있어서상기 제2 노즐은 상기 제2 노즐의 외측면을 따라 배열되는 복수의 주입 유로를 포함하는 분사 노즐 장치.

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