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번호	청구항
1	원통으로 형성되는 성장챔버(101)와, 상기 성장챔버(101) 내부에 설치되어 실리콘용액(102)이 수용되는 도가니(103)와, 상기 도가니(103)를 가열하기 위한 발열체(104)와, 성장된 단결정 잉곳(105)을 냉각시키도록 설치하는 냉각자켓(106)과, 도가니(103)와 냉각자켓(106)으로의 열을 차단하는 단열재(107)와;상기 성장챔버(101)의 외부에 서포터(108)와 마그네트플레이트(109)로 유지되어 도가니(103) 내부의 실리콘용액(102)으로 자기장을 인가하여 대류현상을 배제하는 마그네트(110)와;상기 서포터(108) 위치에 설치하여 마그네트(110)를 마그네트플레이트(109)에 대하여 수직방향으로 움직이기 위한 수직이동자(131)와, 상기 서포터(108)와 서포터(108) 사이 위치의 마그네트플레이트(109)와 마그네트(110) 사이에 설치하여 마그네트(110)를 마그네트플레이트(109)에 대하여 수평방향으로 움직이기 위한 수평이동자(132)를 포함하여 마그네트(110)를 도가니(103) 내부의 실리콘용액(102)에 대응하여 수직방향과 수평방향으로 미세하고 정밀하게 제어하기 위한 팅팅장치(130)를 포함하는 실리콘 단결정 잉곳 생산장치에 있어서;상기 수직이동자(131)는, 서포터(108)에 고정되어 내측방향으로 돌출되어 마그네트플레이트(109)를 유지하는 캔틸레버(135)의 상면과 마그네트플레이트(109)의 저면 사이에 웨지마운트(136)를 장착하여 마그네트플레이트(109)를 수직방향으로 조절할 수 있도록 하고;상기 웨지마운트(136)는, 저면이 캔틸레버(135)의 상면과 밀착되고 상면에 전측에서 후측으로 상향경사진 웨지슬로프(137)를 형성한 로어마운트(138)와;상면이 마그네트플레이트(109)의 저면과 밀착되고 저면에 전측에서 후측으로 하향경사진 웨지슬로프(139)를 형성한 어퍼마운트(140)와;상기 로어마운트(138)와 어퍼마운트(140)를 캔틸레버(135) 및 마그네트플레이트(109)와 고정하는 고정수단(141)과;상기 로어 및 어퍼마운트(138,140) 사이에 상면과 저면에 로어 및 어퍼마운트(138,140)의 웨지슬로트(137,139)와 밀착되도록 전측에서 후측으로 높이가 점진적으로 낮아지는 쇄기형상의 조절슬로프(142)를 형성하여 결합하는 가동마운트(145)로 구성하고;상기 가동마운트(145)는, 양측에 형성되는 가동마운트바디(146)와;상기 가동마운트바디(146) 사이를 연결하는 마운트브리지(147)와;상기 마운트브리지(147) 중간에 형성하는 조절나사홀(148)을 포함하고;상기 조절나사홀(148)에는 로어마운트(138)의 선측 중앙에서 상향 돌출되는 조절블록(149)에 맴돌이 가능하게 결합되는 조절볼트(150)와 결합되어 조절볼트(150)의 정,역회전에 의하여 가동마운트(145)가 전,후진하여 로어마운트(138)에 대하여 어퍼마운트(140)를 상승 또는 하강시키도록 하는 실리콘 단결정 잉곳 생산장치.
1	삭제
1	제 1 항에 있어서;상기 수평이동자(132)는, 마그네트플레이트(109)의 상면에 고정되는 고정베어링플레이트(160)와;마그네트(110)의 저면에 장착되어 고정베어링플레이트(160)와 밀착되어 움직이는 가동베어링플레이트(161)와;상기 마그네트플레이트(109)의 외측단에 설치되어 가동베어링플레이트(161)를 움직이는 가동수단(162)을 포함하는 것을 특징으로 하는 실리콘 단결정 잉곳 생산장치.
1	제 3 항에 있어서;상기 고정베어링플레이트(160)는, 고평평도를 가지고 저마찰재질의 판상부재를 마그네트플레이트(109)의 상면에 용접 또는 볼팅 등의 방식으로 견고하게 고정하여 구성한다.상기 가동베어링플레이트(161)는, 마그네트(110) 저면에 돌출되게 구비되는 가동베이스(165)와;상기 가동베이스(165)의 저면에 볼팅 고정되는 마운팅플레이트(166)와;상기 마운팅플레이트(166)의 저면에 볼팅 고정되는 슬라이딩베어링플레이트(167)를 포함하고;상기 가동수단(162)은, 마그네트플레이트(109)의 외측단부 수직면(168)에 고정수단(169)으로 고정되는 조절플레이트(170)와;상기 조절플레이트(170)의 상부 중심에 결합하여 정,역 회전으로 마운팅플레이트(166)를 밀어서 수평방향으로 조절하는 조절볼트(175)를 포함하는 것을 특징으로 하는 실리콘 단결정 잉곳 생산장치.

번호

청구항

원통으로 형성되는 성장챔버(101)와, 상기 성장챔버(101) 내부에 설치되어 실리콘용액(102)이 수용되는 도가니(103)와, 상기 도가니(103)를 가열하기 위한 발열체(104)와, 성장된 단결정 잉곳(105)을 냉각시키도록 설치하는 냉각자켓(106)과, 도가니(103)와 냉각자켓(106)으로의 열을 차단하는 단열재(107)와;상기 성장챔버(101)의 외부에 서포터(108)와 마그네트플레이트(109)로 유지되어 도가니(103) 내부의 실리콘용액(102)으로 자기장을 인가하여 대류현상을 배제하는 마그네트(110)와;상기 서포터(108) 위치에 설치하여 마그네트(110)를 마그네트플레이트(109)에 대하여 수직방향으로 움직이기 위한 수직이동자(131)와, 상기 서포터(108)와 서포터(108) 사이 위치의 마그네트플레이트(109)와 마그네트(110) 사이에 설치하여 마그네트(110)를 마그네트플레이트(109)에 대하여 수평방향으로 움직이기 위한 수평이동자(132)를 포함하여 마그네트(110)를 도가니(103) 내부의 실리콘용액(102)에 대응하여 수직방향과 수평방향으로 미세하고 정밀하게 제어하기 위한 팅팅장치(130)를 포함하는 실리콘 단결정 잉곳 생산장치에 있어서;상기 수직이동자(131)는, 서포터(108)에 고정되어 내측방향으로 돌출되어 마그네트플레이트(109)를 유지하는 캔틸레버(135)의 상면과 마그네트플레이트(109)의 저면 사이에 웨지마운트(136)를 장착하여 마그네트플레이트(109)를 수직방향으로 조절할 수 있도록 하고;상기 웨지마운트(136)는, 저면이 캔틸레버(135)의 상면과 밀착되고 상면에 전측에서 후측으로 상향경사진 웨지슬로프(137)를 형성한 로어마운트(138)와;상면이 마그네트플레이트(109)의 저면과 밀착되고 저면에 전측에서 후측으로 하향경사진 웨지슬로프(139)를 형성한 어퍼마운트(140)와;상기 로어마운트(138)와 어퍼마운트(140)를 캔틸레버(135) 및 마그네트플레이트(109)와 고정하는 고정수단(141)과;상기 로어 및 어퍼마운트(138,140) 사이에 상면과 저면에 로어 및 어퍼마운트(138,140)의 웨지슬로트(137,139)와 밀착되도록 전측에서 후측으로 높이가 점진적으로 낮아지는 쇄기형상의 조절슬로프(142)를 형성하여 결합하는 가동마운트(145)로 구성하고;상기 가동마운트(145)는, 양측에 형성되는 가동마운트바디(146)와;상기 가동마운트바디(146) 사이를 연결하는 마운트브리지(147)와;상기 마운트브리지(147) 중간에 형성하는 조절나사홀(148)을 포함하고;상기 조절나사홀(148)에는 로어마운트(138)의 선측 중앙에서 상향 돌출되는 조절블록(149)에 맴돌이 가능하게 결합되는 조절볼트(150)와 결합되어 조절볼트(150)의 정,역회전에 의하여 가동마운트(145)가 전,후진하여 로어마운트(138)에 대하여 어퍼마운트(140)를 상승 또는 하강시키도록 하는 실리콘 단결정 잉곳 생산장치.

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제 1 항에 있어서;상기 수평이동자(132)는, 마그네트플레이트(109)의 상면에 고정되는 고정베어링플레이트(160)와;마그네트(110)의 저면에 장착되어 고정베어링플레이트(160)와 밀착되어 움직이는 가동베어링플레이트(161)와;상기 마그네트플레이트(109)의 외측단에 설치되어 가동베어링플레이트(161)를 움직이는 가동수단(162)을 포함하는 것을 특징으로 하는 실리콘 단결정 잉곳 생산장치.

제 3 항에 있어서;상기 고정베어링플레이트(160)는, 고평평도를 가지고 저마찰재질의 판상부재를 마그네트플레이트(109)의 상면에 용접 또는 볼팅 등의 방식으로 견고하게 고정하여 구성한다.상기 가동베어링플레이트(161)는, 마그네트(110) 저면에 돌출되게 구비되는 가동베이스(165)와;상기 가동베이스(165)의 저면에 볼팅 고정되는 마운팅플레이트(166)와;상기 마운팅플레이트(166)의 저면에 볼팅 고정되는 슬라이딩베어링플레이트(167)를 포함하고;상기 가동수단(162)은, 마그네트플레이트(109)의 외측단부 수직면(168)에 고정수단(169)으로 고정되는 조절플레이트(170)와;상기 조절플레이트(170)의 상부 중심에 결합하여 정,역 회전으로 마운팅플레이트(166)를 밀어서 수평방향으로 조절하는 조절볼트(175)를 포함하는 것을 특징으로 하는 실리콘 단결정 잉곳 생산장치.