마이크로니들 점적 코팅 공정의 마이크로니들 좌표 확인 방법, 이를 이용한 마이크로니들 점적 코팅 방법 및 장치
MICRONEEDLE COORDINATE CONFIRMATION METHOD OF MICRONEEDLE DROP COATING PROCESS, MICRONEEDLE DROP COATING METHOD AND APPARATUS USING THE SAME
특허 요약
마이크로니들 점적 코팅 공정의 마이크로니들 좌표 확인 방법이 개시된다. 상기 마이크로니들 점적 코팅 공정의 마이크로니들 좌표 확인 방법은 a) 베이스 플레이트, 상기 베이스 플레이트의 가장자리면을 노출시키도록 상면에 위치하는 양각면, 및 상기 양각면의 상면에 배열된 마이크로니들들을 포함하는 마이크로구조체를 점적 코팅 공정 공간 내에 제공하는 단계; b) 상기 마이크로구조체 상의 상기 양각면의 가장자리 형상을 검출하는 단계; c) 상기 양각면 상에 배열된 마이크로니들들 중 상기 양각면의 가장자리로부터 일정 거리에 위치하는 마이크로니들 하나의 위치 좌표를 검출하는 단계를 포함한다.
청구항
번호청구항
1

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2

a) 베이스 플레이트, 상기 베이스 플레이트의 가장자리면을 노출시키도록 상면에 위치하는 양각면, 및 상기 양각면의 상면에 배열된 마이크로니들들을 포함하는 마이크로구조체를 점적 코팅 공정 공간 내에 제공하는 단계;b) 상기 마이크로구조체 상의 상기 양각면의 가장자리 형상을 검출하는 단계; 및c) 상기 양각면 상에 배열된 마이크로니들들 중 상기 양각면의 가장자리로부터 일정 거리에 위치하는 마이크로니들 하나의 위치 좌표를 검출하는 단계를 포함하는,마이크로니들 점적 코팅 공정의 마이크로니들 좌표 확인 방법.

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제2항에 있어서,상기 b) 단계는,상기 마이크로구조체를 촬영하여 이미지를 획득 후 상기 이미지 내에서 상기 양각면의 가장자리의 음영을 통해 상기 양각면의 가장자리 형상을 검출하는,마이크로니들 점적 코팅 공정의 마이크로니들 좌표 확인 방법.

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제2항에 있어서,상기 c) 단계는,상기 양각면의 가장자리의 사방의 모서리들 중 어느 하나의 모서리에 가장 근거리로 위치하는 마이크로니들 하나의 위치 좌표를 검출하는,마이크로니들 점적 코팅 공정의 마이크로니들 좌표 확인 방법.

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a) 베이스 플레이트, 상기 베이스 플레이트의 가장자리면을 노출시키도록 상면에 위치하는 양각면, 및 상기 양각면의 상면에 배열된 마이크로니들들을 포함하는 마이크로구조체를 점적 코팅 공정 공간 내에 제공하는 단계;b) 상기 마이크로구조체 상의 상기 양각면 형상을 검출하는 단계;c) 상기 양각면 상에 배열된 마이크로니들들 중 상기 양각면의 가장자리로부터 일정 거리에 위치하는 마이크로니들 하나의 위치 좌표를 검출하는 단계;d) 검출된 마이크로니들 하나의 위치 좌표를 영점으로 셋팅하는 단계; 및e) 미리 제공된 상기 마이크로니들들 간의 X축 방향 간격 및 Y축 방향 간격에 기초하여 상기 영점으로부터 X축 및 Y축을 따라 이동하면서 상기 각각의 마이크로니들의 첨단부에 목적 물질 용액을 점적시키는 단계를 포함하는,마이크로니들 점적 코팅 방법.

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제5항에 있어서,상기 b) 단계는,상기 마이크로구조체를 촬영하여 이미지를 획득 후 상기 이미지 내에서 상기 양각면의 가장자리의 음영을 통해 상기 양각면의 가장자리 형상을 검출하는,마이크로니들 점적 코팅 방법.

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제5항에 있어서,상기 c) 단계는,상기 양각면의 가장자리의 사방의 모서리들 중 어느 하나의 모서리에 가장 근거리로 위치하는 마이크로니들 하나의 위치 좌표를 검출하는,마이크로니들 점적 코팅 방법.

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베이스 플레이트, 상기 베이스 플레이트의 가장자리면을 노출시키도록 상면에 위치하는 양각면, 및 상기 양각면의 상면에 배열된 마이크로니들들을 포함하는 마이크로구조체가 놓이는 마이크로구조체 캐리어;목적 물질 용액을 상기 마이크로니들들 상에 점적시키는 점적 코팅기;상기 점적 코팅기를 X축 방향을 따라 이송시키는 X축 이송장치;상기 점적 코팅기를 Y축 방향을 따라 이송시키는 Y축 이송장치;상기 점적 코팅기를 Z축 방향을 따라 이송시키는 Z축 이송장치;상기 마이크로구조체의 상기 양각면의 상측 정중앙에서 상기 마이크로구조체에 빛을 조사하고 촬영하는 마이크로구조체 촬영장치; 및상기 점적 코팅기, 상기 X축 이송장치, 상기 Y축 이송장치, 상기 Z축 이송장치 및 상기 마이크로구조체 촬영장치를 제어하는 제어부를 포함하고,상기 제어부는,상기 마이크로구조체 촬영장치를 통해 획득된 이미지로부터 상기 마이크로구조체 상의 상기 양각면의 가장자리 형상을 검출하는 단계; 및 상기 양각면 상에 배열된 마이크로니들들 중 상기 양각면의 가장자리로부터 일정 거리에 위치하는 마이크로니들 하나의 위치 좌표를 검출하는 단계를 수행하도록 구성되는,마이크로니들 점적 코팅 장치.

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제8항에 있어서,상기 제어부는 상기 양각면의 가장자리로부터 일정 거리에 위치하는 마이크로니들 하나의 위치 좌표를 검출하는 단계에서,상기 양각면의 가장자리의 사방의 모서리들 중 어느 하나의 모서리에 가장 근거리로 위치하는 마이크로니들 하나의 위치 좌표를 검출하는,마이크로니들 점적 코팅 장치.