이산화질소 가스센서 및 그 제조방법
Nitrogen dioxide gas sensor and fabricating method of the same
특허 요약
이산화질소 가스센서의 제조방법이 제공된다. 상기 이산화질소 가스센서의 제조방법은 그래핀 산화물(Graphene Oxide)을 포함하는 소스 용액을 준비하는 단계, 상기 소스 용액을 비타민을 포함하는 환원제로 환원시키는 단계, 환원된 상기 소스 용액을 겔(gel)화 시켜, 센싱 용액을 제조하는 단계, 그루브(groove) 패턴을 포함하는 마스크(mask)가 배치된 기판 상에, 상기 센싱 용액을 제공하는 단계, 및 상기 마스크를 제거하여, 상기 기판 상에 상기 그루브 패턴에 대응되는 센싱 패턴을 형성하는 단계를 포함하되, 상기 센싱 패턴은 이산화질소(NO 2 )와 선택적으로 반응하는 것을 포함할 수 있다.
청구항
번호청구항
1

그래핀 산화물(Graphene Oxide)을 포함하는 소스 용액을 준비하는 단계; 상기 소스 용액을 비타민을 포함하는 환원제로 환원시키는 단계; 환원된 상기 소스 용액을 겔(gel)화 시켜, 센싱 용액을 제조하는 단계; 그루브(groove) 패턴을 포함하는 마스크(mask)가 배치된 기판 상에, 상기 센싱 용액을 제공하는 단계; 및 상기 마스크를 제거하여, 상기 기판 상에 상기 그루브 패턴에 대응되는 센싱 패턴을 형성하는 단계를 포함하되, 상기 센싱 패턴은 이산화질소(NO2)와 선택적으로 반응하는 것을 포함하는 이산화질소 가스센서의 제조방법.

2

제1 항에 있어서, 상기 센싱 용액을 제조하는 단계는, 상기 환원된 소스 용액을 서로 다른 물질을 포함하는 제1 및 제2 분산제와 혼합하는 단계; 및 상기 제1 및 제2 분산제와 혼합된 상기 환원된 소스 용액을, 상(phase) 변화 물질과 혼합하는 단계를 포함하는 이산화질소 가스센서의 제조방법.

3

제2 항에 있어서, 상기 제1 분산제는 아세트산을 포함하고, 상기 제2 분산제는 베타-글리세롤포스페이트(β-GP)를 포함하는 이산화질소 가스센서의 제조방법.

4

제2 항에 있어서, 상기 상 변화물질은 키토산(chitosan)을 포함하는 이산화질소 가스센서의 제조방법.

5

제2 항에 있어서, 상기 환원된 소스 용액은, 환원된 그래핀 산화물을 포함하고, 상기 환원된 소스 용액을 상 변화 물질과 혼합하는 단계는, 상기 환원된 그래핀 산화물이 상기 상 변화 물질과 결합되되, 상기 제2 분산제는 상기 환원된 그래핀 산화물과 상기 상 변화 물질 사이의 결합력을 향상시키는 것을 포함하는 이산화질소 가스센서의 제조방법.

6

제2 항에 있어서, 상기 환원된 소스 용액은, 복수의 환원된 그래핀 산화물을 포함하고, 상기 환원된 소스 용액을 상 변화 물질과 혼합하는 단계는, 상기 복수의 환원된 그래핀 산화물이 각각 상기 상 변화 물질과 결합되되, 상기 상 변화 물질과 결합된 상기 복수의 환원된 그래핀 산화물은 각각 극성이 동일한 것을 포함하는 이산화질소 가스센서의 제조방법.

7

제1 항에 있어서, 상기 소스 용액의 환원 단계, 및 상기 센싱 용액의 제조 단계는 순차적으로 수행되는 것을 포함하는 이산화질소 가스센서의 제조방법.

8

제1 항에 있어서, 상기 환원제는 비타민 C를 포함하는 이산화질소 가스센서의 제조방법.

9

제1 항에 있어서, 상기 마스크가 배치된 상기 기판 상에 상기 센싱 용액을 제공하는 단계는, 상기 그루브 패턴 내부에 상기 센싱 용액이 채워지는 것을 포함하는 이산화질소 가스센서의 제조방법.

10

기판; 및 상기 기판 상에 배치되고, 겔(gel) 상태의 환원된 그래핀 산화물(rGO)이 코팅되어 형성된 복수의 센싱 패턴을 포함하되, 상기 복수의 센싱 패턴은, 이산화질소(NO2)와 선택적으로 반응하는 것을 포함하는 이산화질소 가스센서.

11

제10 항에 있어서, 상기 겔 상태의 환원된 그래핀 산화물은, 환원된 그래핀 산화물이 키토산과 결합되어 형성된 것을 포함하는 이산화질소 가스센서.

12

제11 항에 있어서, 상기 환원된 그래핀 산화물은, 그래핀 산화물이 비타민 C와 결합되어 형성된 것을 포함하는 이산화질소 가스센서.