| 번호 | 청구항 |
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| 1 | 폴리머 애자; 및 상기 폴리머 애자 표면에 형성된 소수성 증착막;을 포함하며,상기 소수성 증착막은 티타늄계 화합물을 포함하고, 상기 소수성 증착막의 두께는 100 내지 1,000 nm인 것을 특징으로 하는 전철용 폴리머 애자. |
| 2 | 제1항에 있어서, 상기 티타늄계 화합물은 산화티타늄, 질화티타늄, 산질화티타늄 및 이들의 혼합물로 이루어진 군으로부터 선택되는 것을 특징으로 하는 전철용 폴리머 애자. |
| 3 | 제1항에 있어서, 상기 소수성 증착막은 접촉각이 88° 이상인 것을 특징으로 하는 전철용 폴리머 애자. |
| 4 | 삭제 |
| 5 | 폴리머 애자의 표면에 티타늄계 화합물을 증착시켜 소수성 증착막을 형성하는 단계를 포함하며,상기 소수성 증착막의 두께는 100 내지 1,000 nm인 것을 특징으로 하는 전철용 폴리머 애자 제조방법. |
| 6 | 제5항에 있어서, 상기 증착은 마그네트론 반응성 스퍼터링을 이용하는 것을 특징으로 하는 전철용 폴리머 애자 제조방법. |
| 7 | 제6항에 있어서, 상기 마그네트론 반응성 스퍼터링은 0.1 내지 10 mTorr의 압력 및 20 내지 30℃의 온도 조건에서, 20분 내지 3시간 동안 이루어지는 것을 특징으로 하는 전철용 폴리머 애자 제조방법. |
| 8 | 제6항에 있어서, 상기 마그네트론 반응성 스퍼터링은 타겟 물질 및 기체를 이용하며, 상기 타겟 물질은 티타늄계 화합물이고, 상기 기체는 아르곤/산소, 아르곤/질소, 아르곤/황화수소 및 이들의 조합으로 이루어진 군에서 선택되는 것을 특징으로 하는 전철용 폴리머 애자 제조방법. |
| 9 | 제8항에 있어서, 상기 아르곤의 유량은 10 내지 1,000 sccm이고, 상기 아르곤/산소, 아르곤/질소, 아르곤/황화수소의 유량비는 15/1 내지 1/1인 것을 특징으로 하는 전철용 폴리머 애자 제조방법. |
