코로나 방전을 이용한 카본나노튜브의 제조장치 및 제조방법
GROWTH APPARATUS FOR CARBON NANOTUBES USING CORONA DISCHARGE AND GROWTH METHOD FOR CARBON NANOTUBES USING THE SAME
특허 요약
본 발명은 코로나 방전을 이용하여 카본나노튜브를 성장시키는 제조장치 및 제조방법에 관한 것으로써, 특히 저전력과 저온조건에서도 수직성장의 카본나노튜브를 합성시킬 수 있다는 장점을 갖는 키는 제조장치 및 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 코로나 방전을 이용한 카본나노튜브의 제조장치는 밀폐체; 상기 밀폐체에 내장된 기판; 상기 밀폐체와 연결된 가스공급부; 상기 밀폐체와 연결된 온도조절수단; 상기 밀폐체 내에서 기판 부근에 배열되는 음극; 및 상기 기판 및 상기 음극과 연결된 전원공급부;를 포함하여 이루어진다. 나노튜브, 카본, 니켈, 암모니아, 아세틸렌, 코로나방전, 실리콘기판, 양극, 음극
청구항
| 번호 | 청구항 |
|---|---|
| 1 | 밀폐체; 상기 밀폐체에 내장된 기판; 상기 밀폐체와 연결된 가스공급부; 상기 밀폐체와 연결된 온도조절수단; 상기 밀폐체 내에서 기판 부근에 배열되는 음극; 및 상기 기판 및 상기 음극과 연결된 전원공급부; 를 포함하여 이루어진 코로나 방전을 이용한 카본나노튜브의 제조장치. |
| 2 | 제 1 항에 있어서, 상기 기판은 실리콘층 위에 산화막을 형성하고, 다시 산화막 위에 촉매로 니켈을 증착시킨 것임을 특징으로 하는 코로나 방전을 이용한 카본나노튜브의 제조장치. |
| 3 | 밀폐체; 상기 밀폐체에 내장된 기판; 상기 밀폐체와 연결된 가스공급부; 상기 밀폐체와 연결된 온도조절수단; 상기 밀폐체 내에서 기판 부근에 배열되는 음극; 및 상기 기판 및 상기 음극과 연결된 전원공급부; 를 포함하여 이루어진 카본나노튜브의 제조장치를 이용하되, 상기 가스공급부에서 공급되는 가스는 암모니아 또는 아세틸렌이고, 상기 전원공급부는 직류 1.5kV 이하의 전압을 인가하는 것을 특징으로 하는 코로나 방전을 이용한 카본나노튜브의 제조방법. |
| 4 | 제 3 항에 있어서, 상기 온도조절수단에 의한 분위기 온도는 550~650℃인 것을 특징으로 하는 코로나 방전을 이용한 카본나노튜브의 제조방법. |
