제13항에 있어서,상기 상부 고정 장치와 상기 하부 고정 장치 사이에서 상기 피진단체의 외부로 배열되는 지지 부재를 더 포함하되,체결 장치가 상기 상부 고정 장치의 홀 및 상기 지지 부재의 홀을 통하여 상기 하부 고정 장치의 홀에 삽입됨에 의해 상기 상부 고정 장치와 상기 하부 고정 장치가 결합되며, 상기 결합에 의해 상기 피진단체와 상기 측정 장치가 고정되는 것을 특징으로 하는 고정 장치.

피진단체의 성능을 측정하기 위한 측정 장치; 및상기 피진단체와 상기 측정 장치를 고정시키는 고정 장치를 포함하되,상기 측정 장치에는 복수의 측정 단자들이 형성되고, 상기 측정 단자들이 상기 피진단체에 접촉하며, 성능 측정 동안 상기 측정 단자들과 상기 피진단체의 접촉 상태가 상기 고정 장치에 의해 유지되는 것을 특징으로 하는 평가 시스템.

제1항에 있어서, 상기 피진단체는 정전척이며, 상기 정전척이 챔버로부터 분리된 상태에서 성능이 평가되는 것을 특징으로 하는 평가 시스템.

제1항에 있어서, 상기 측정 단자들과 상기 피진단체의 측정 포인트들이 정렬된 상태에서 측정 단자들을 선택하는 방법을 통하여 상기 피진단체의 성능을 측정하는 것을 특징으로 하는 평가 시스템.

제1항에 있어서,상기 측정 장치를 통하여 상기 피진단체의 성능을 측정하는 계측 장치; 및상기 계측 장치에 의해 측정된 데이터를 수집하는 데이터 수집기를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 평가 시스템.

제4항에 있어서, 상기 측정 장치는,회로 기판;상기 회로 기판의 일면 상에 형성되며 적어도 하나의 센서를 가지는 전자 부품들; 상기 회로 기판의 타면에 형성된 상기 측정 단자들; 및상기 계측 장치가 전기적으로 연결되는 연결부를 포함하는 것을 특징으로 하는 평가 시스템.

제5항에 있어서, 상기 회로 기판 중 상기 측정 단자들을 제외한 나머지 영역은 절연물질에 의해 코팅되어 있는 것을 특징으로 하는 평가 시스템.

제1항에 있어서, 상기 고정 장치는,상기 피진단체로서 정전척을 지지하는 하부 고정 장치; 상기 정전척 위에 놓인 측정 장치에 압력을 가하여 고정시키는 상부 고정 장치; 및상기 하부 고정 장치와 상기 상부 고정 장치 사이에서 상기 정전척의 외측에 배열되는 지지 부재를 포함하되,체결 장치가 상기 상부 고정 장치의 홀 및 상기 지지 부재의 홀을 통하여 상기 하부 고정 장치의 홀로 삽입됨에 따라 상기 상부 고정 장치와 상기 하부 고정 장치가 상기 정전척 및 상기 측정 장치를 고정시키는 것을 특징으로 하는 평가 시스템.

제1항에 있어서, 상기 측정 장치는 상기 피진단체의 온도를 조절하기 위한 히터 또는 냉각기를 포함하는 것을 특징을 하는 평가 시스템.

평가 시스템에 사용되는 측정 장치에 있어서,회로 기판;상기 회로 기판의 일면에 형성되는 적어도 하나의 전자부품; 상기 회로 기판의 일면에 추가적으로 형성되는 연결부; 및상기 회로 기판의 타면에 형성되는 측정 단자들을 포함하되,피진단체의 성능 평가를 위하여 상기 측정 단자들이 상기 피진단체에 접촉하고, 계측 장치가 상기 연결부에 전기적으로 연결되어 상기 피진단체의 성능을 측정하는 것을 특징으로 하는 측정 장치.

제9항에 있어서, 상기 피진단체는 정전척이되,상기 전자부품은 적어도 하나의 센서를 가지며, 상기 센서는 상기 정전척의 온도 분포, 정전력 이상 상태 또는 헬륨 가스 누설 정도를 감지하는 것을 특징으로 하는 측정 장치.

제9항에 있어서, 상기 측정 단자들과 상기 피진단체의 측정 포인트들이 일대일 매칭되는 것을 특징으로 하는 측정 장치.

제9항에 있어서, 상기 전자부품은 멀티플렉서를 포함하되,상기 멀티플렉서를 통하여 상기 측정 단자들 중 일부가 상기 피진단체의 성능을 평가하기 위하여 선택되는 것을 특징으로 하는 측정 장치.

평가 시스템에 사용되는 고정 장치에 있어서,피진단체를 지지하는 하부 고정 장치; 및상기 피진단체 및 상기 피진단체 위에 놓이는 측정 장치를 지지하는 상부 고정 장치를 포함하되,상기 측정 장치의 단자가 상기 피진단체에 접촉한 상태에서 상기 상부 고정 장치와 상기 하부 고정 장치가 상기 피진단체 및 상기 측정 장치를 고정시키는 것을 특징으로 하는 고정 장치.

제13항에 있어서, 상기 하부 고정 장치의 중앙에는 홀이 형성되고 상기 하부 고정 장치에 단차가 형성되되,상기 피진단체의 하부가 상기 하부 고정 장치의 홀로 삽입되고 상기 피진단체의 하부 중 외곽 부분이 상기 하부 고정 장치의 요부에 놓여짐에 따라 상기 피진단체가 상기 하부 고정 장치에 의해 안정적으로 지지되는 것을 특징으로 하는 고정 장치.

제13항에 있어서, 상기 상부 고정 장치의 중앙에 홀이 형성되되,상기 측정 장치의 연결부가 상기 홀을 통하여 외부로 노출되고, 상기 연결부는 계측 장치와 전기적으로 연결되며, 상기 상부 고정 장치 중 상기 홀과 마주보는 부분에 상기 상부 고정 장치의 중앙 방향으로 돌출부가 형성되고, 상기 돌출부에 의해 상기 피진단체 및 상기 측정 장치가 지지되는 것을 특징으로 하는 고정 장치.