| 번호 | 청구항 |
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| 13 | 제12항에 있어서, 상기 보드의 타면에는 상기 제 2 캐패시티브 소자들을 전기적으로 연결시키기 위한 연결 패턴들이 형성되되,상기 연결 패턴들 중 일부를 절단함에 의해 상기 캐패시티브 회로 면적이 조절되는 것을 특징으로 하는 RF 센서. |
| 1 | RF 피드 쓰루를 통하여 흐르는 RF 신호를 감지하기 위한 RF 센서에 있어서,상기 RF 신호에 따른 전류를 감지하는 전류 센서; 및 상기 RF 신호에 따른 전압을 감지하는 전압 센서를 포함하되,상기 전류 센서와 상기 전압 센서는 물리적으로 분리되어 있고, 상기 전류 센서와 상기 전압 센서 중 적어도 하나와 상기 RF 피드 쓰루 사이의 거리가 조절 가능하며, 상기 전류 센서와 상기 전압 센서는 상기 RF 피드 쓰루와 각기 거리 조절이 가능하고, 상기 전류 센서와 상기 전압 센서 중 하나와 상기 RF 피드 쓰루 사이의 거리를 조절함에 의해 상기 전류 센서에 의해 감지된 전류와 상기 전압 센서에 의해 감지된 전압 사이의 위상차가 보정되는 것을 특징으로 하는 RF 센서. |
| 2 | 제1항에 있어서, 상기 전류 센서를 실장하는 제 1 홀더; 및상기 전압 센서를 실장하는 제 2 홀더를 더 포함하되,상기 전류 센서와 상기 제 1 홀더가 전류 홀더 구조체를 형성하고, 상기 전압 센서와 상기 제 2 홀더가 전압 홀더 구조체를 형성하며, 상기 제 1 홀더와 상기 제 2 홀더 중 적어도 하나의 외주면에 스크류 탭이 형성되고, 상기 제 1 홀더와 상기 제 2 홀더 중 적어도 하나의 바닥면에 스크류 드라이버 탭이 형성되며, 상기 탭들을 이용하여 해당 홀더를 회전시킴에 따라 해당 센서와 상기 RF 피드 쓰루 사이의 거리가 조절되는 것을 특징으로 하는 RF 센서. |
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| 4 | 제2항에 있어서, 상기 전류 홀더 구조체 및 상기 전압 홀더 구조체가 삽입될 수 있는 공간들이 형성된 홀더 삽입부;상기 홀더 삽입부와 일체로 구현된 제 1 체결부; 및상기 제 1 체결부와 체결되는 제 2 체결부를 더 포함하되,상기 제 1 체결부와 상기 제 2 체결부 사이에 상기 RF 피드 쓰루가 위치하며, 상기 홀더들, 상기 홀더 삽입부 및 상기 체결부들은 모두 부도체로 이루어지는 것을 특징으로 하는 RF 센서. |
| 5 | 제4항에 있어서, 상기 체결부들에는 각기 홈이 형성되고, 상기 홈들이 결합함에 의해 형성된 공간에 상기 RF 피드 쓰루가 배열되는 것을 특징으로 하는 RF 센서. |
| 6 | 제2항에 있어서, 상기 전류 홀더 구조체가 삽입될 수 있는 공간이 형성된 전류 홀더 삽입부;상기 전압 홀더 구조체가 삽입될 수 있는 공간이 형성된 전압 홀더 삽입부;상기 전류 홀더 삽입부와 일체로 구현된 제 1 체결부; 및상기 전압 홀더 삽입부와 일체로 구현되며, 상기 제 1 체결부와 체결되는 제 2 체결부를 더 포함하되,상기 제 1 체결부와 상기 제 2 체결부 사이에 상기 RF 피드 쓰루가 위치하며, 상기 홀더들, 상기 전류 홀더 삽입부, 상기 전압 홀더 삽입부 및 상기 체결부들은 모두 부도체로 이루어지는 것을 특징으로 하는 RF 센서. |
| 7 | 제6항에 있어서, 상기 체결부들에는 각기 홈이 형성되고, 상기 홈들이 결합함에 의해 형성된 공간에 상기 RF 피드 쓰루가 배열되는 것을 특징으로 하는 RF 센서. |
| 8 | 제2항에 있어서,상기 전류 홀더 구조체 및 상기 전압 홀더 구조체가 삽입될 수 있는 공간들이 상면 또는 하면에 형성된 홀더 삽입부를 더 포함하되,상기 홀더 삽입부의 측면에는 상기 RF 피드 쓰루가 위치하는 공간이 형성되고, 상기 홀더들의 바닥면들을 제외한 나머지 부분 및 상기 홀더 삽입부는 금속으로 이루어지며, 상기 홀더들의 바닥면들은 부도체로 이루어지는 것을 특징으로 하는 RF 센서. |
| 9 | 제2항에 있어서, 상기 전류 홀더 구조체 및 상기 전압 홀더 구조체가 삽입될 수 있는 공간들이 양측면에에 형성된 홀더 삽입부를 더 포함하되,상기 홀더 삽입부의 타측면에는 상기 RF 피드 쓰루가 위치하는 공간이 형성되고, 상기 홀더들의 바닥면들을 제외한 영역 및 상기 홀더 삽입부는 금속으로 이루어지며, 상기 홀더들의 바닥면들은 부도체로 이루어지는 것을 특징으로 하는 RF 센서. |
| 10 | 제1항에 있어서, 상기 전류 센서는,상부 보드; 및 상기 상부 보드와 결합되는 하부 보드를 포함하며,상기 상부 보드에는 커넥터가 전기적으로 연결되고, 상기 하부 보드에는 도체인 루프가 형성되되,상기 루프는 일부를 절단하는 방식에 의해 길이 조절이 가능한 패턴 구조를 가지는 것을 특징으로 하는 RF 센서. |
| 11 | 제10항에 있어서, 상기 루프는,외부 패턴; 및내측 패턴들을 포함하며,상기 각 내측 패턴들의 양단들은 상기 외부 패턴에 각기 연결되어 상기 루프가 사다리 형상을 가지되,상기 외부 패턴과 상기 내측 패턴들이 만나는 접점들 중 일부를 절단함에 의해 상기 루프의 길이가 조절 가능한 것을 특징으로 하는 RF 센서. |
| 12 | 제1항에 있어서, 상기 전압 센서는 보드로 이루어지며,상기 보드의 일면에는 제 1 캐패시티브 소자가 형성되고, 상기 보드의 타면에는 복수의 제 2 캐패시티브 소자들이 형성되되,상기 제 2 캐패시티브 소자들이 상호 전기적으로 연결된 상태에서 일부의 연결을 절단함에 의해 캐패시티브 회로 면적이 조절되는 것을 특징으로 하는 RF 센서. |
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| 28 | 홀더 구조체에 있어서,홀더; 및상기 홀더 내부에 위치하며 상기 홀더에 의해 지지되는 센서를 포함하되,상기 홀더에는 상기 센서에 의해 감지된 전압 또는 전류와 다른 홀더 구조체에 포함된 다른 센서에 의해 감지되는 전류 또는 전압의 위상차를 보정하기 위한 수단이 형성되어 있고, 상기 홀더를 상하로 이동시킴에 의해 RF 피드 쓰루와 상기 센서 사이의 거리 조절이 가능하며, 상기 홀더 구조체와 상기 다른 홀더 구조체가 하나의 구조물에 형성되고, 상기 홀더 구조체와 상기 다른 홀더 구조체 중 하나와 상기 RF 피드 쓰루 사이의 거리를 조절함에 의해 상기 감지된 전압과 상기 감지된 전류 사이의 위상차가 보정되는 것을 특징으로 하는 홀더 구조체. |
| 29 | 제28항에 있어서, 상기 센서와 연결된 커넥터를 더 포함하되,상기 커넥터의 일부는 상기 홀더의 외부로 돌출되고, 상기 홀더의 외주면에는 스크류 탭이 형성되며, 상기 홀더의 바닥면에는 스크류 드라이버 탭이 형성되고, 상기 탭들 중 적어도 하나를 이용하여 상기 위상차를 보정 가능한 것을 특징으로 하는 홀더 구조체. |
| 30 | 제28항에 있어서, 상기 센서는 전류 센서로서, 상부 보드; 및 상기 상부 보드와 결합되는 하부 보드를 포함하며,상기 상부 보드에는 커넥터가 전기적으로 연결되고, 상기 하부 보드에는 도체인 루프가 형성되되,상기 루프는 일부를 절단하는 방식에 의해 길이 조절이 가능한 패턴 구조를 가지는 것을 특징으로 하는 홀더 구조체. |
| 31 | 제28항에 있어서, 상기 센서는 전압 센서로서 보드로 이루어지며,상기 보드의 일면에는 제 1 캐패시티브 소자가 형성되고, 상기 보드의 타면에는 복수의 제 2 캐패시티브 소자들이 형성되되,상기 제 2 캐패시티브 소자들이 상호 전기적으로 연결된 상태에서 일부의 연결을 절단함에 의해 캐패시티브 회로 면적이 조절되는 것을 특징으로 하는 홀더 구조체. |
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