챔버 바디;상기 챔버 바디 내에 위치되고, 타겟 및 자기장을 발생시키는 적어도 하나의 마그넷 유닛을 포함하는 타겟 모듈; 및상기 타겟 모듈을 스퍼터링함에 따라 피증착물의 상면과 측면들 중 적어도 하나에 차폐막 형성시 상기 피증착물을 승강시켜 이송트레이와 분리하는 승강부재를 포함하되,상기 차폐막은 상기 피증착물 상의 복수의 증착막들로 이루어져 형성되되,상기 승강부재는 상기 복수의 증착막들이 각각 상기 피증착물에 형성될때마다 상기 피증착물을 승강시키는 것을 특징으로 하는 차폐막 형성 장치.

제1 항에 있어서,상기 이송트레이는 복수의 홀이 형성되되,상기 승강부재는 상기 홀을 통해 상기 피증착물을 승강시키는 것을 특징으로 하는 차폐막 형성 장치.

제1 항에 있어서,상기 승강 부재는, 피증착물이 지지되는 지지부; 및상기 지지부를 고정하는 트레이를 포함하되,상기 지지부는 상기 이송트레이에 형성되는 복수의 홀에 대응하여 배열되는 것을 특징으로 하는 차폐막 형성 장치.

제3 항에 있어서,상기 트레이는 고정되며, 상기 지지부가 승강하여 상기 피증착물을 승강시키는 것을 특징으로 하는 차폐막 형성 장치.

제3 항에 있어서,상기 지지부는 고정되며, 상기 트레이가 승강하여 상기 피증착물을 승강시키는 것을 특징으로 하는 차폐막 형성 장치.

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승강부재에 있어서,피증착물이 지지되는 지지부; 및상기 지지부를 고정하는 트레이를 포함하되,스퍼터링 공정에 의해 상기 피증착물의 상면 및 측면들 중 적어도 하나에 차폐막 형성시, 상기 지지부 및 상기 트레이 중 적어도 하나가 상기 피증착물과 이송트레이가 분리되도록 승강하되,상기 차폐막은 상기 피증착물 상의 복수의 증착막들로 이루어져 형성되되,상기 승강부재는 상기 복수의 증착막들이 각각 상기 피증착물에 형성될때마다 상기 피증착물을 승강시키는 것을 특징으로 하는 승강부재.

제7 항에 있어서,상기 승강부재는 상기 이송트레이 하면에 고정되는 것을 특징으로 하는 승강부재.

제7 항에 있어서,상기 트레이는 고정되며, 상기 지지부가 승강하여 상기 피증착물을 승강시키는 것을 특징으로 하는 승강부재.

제7 항에 있어서,상기 지지부 및 상기 트레이 중 적어도 하나는 상기 피증착물의 증착 공정 동안에는 상기 피증착물을 승강시키지 않는 것을 특징으로 하는 승강부재.

제 1 위치의 타겟 모듈로부터 분리된 타겟 물질로 피증착물의 상면 및 적어도 하나의 측면 위에 제 1 증착막을 형성하는 단계; 상기 제1 증착막이 형성된 상기 피증착물을 승강시키는 단계;상기 제 1 위치로부터 제 2 위치로 이동한 타겟 모듈로부터 분리된 타겟 물질로 상기 피증착물의 상기 제 1 증착막 위에 제 2 증착막을 형성하여 차폐막을 형성하는 단계; 및상기 차폐막이 형성된 상기 피증착물을 승강시키는 단계를 포함하는 차폐막 형성 방법.