레이저 기반 멀티인쇄장치 및 이를 이용한 표면 모폴로지가 제어된 대면적 페로브스카이트 박막의 제조방법
Laser based multiprinting apparatus and preparation method of perovskite thin film having controlled surface morphology using the same
특허 요약
본 발명은 레이저 기반 멀티인쇄장치 및 이를 이용한 표면 모폴로지가 제어된 페로브스카이트 박막의 제조방법에 관한 것으로, 본 발명에 따른 멀티인쇄장치는 슬롯-다이 코팅기와 같은 인쇄장치, 가스블로어 및 레이져장치가 하나의 모듈로 결합되어 있어, 페로브스카이트 박막의 형성부터 표면 모폴로지 제어까지 단일 공정으로 수행이 가능하므로, 핀홀이 없고 치밀하며 균일하게 코팅된 페로브스카이트 박막 및 이를 포함하는 태양전지를 대면적으로 대량생산이 가능하다.
청구항
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| 6 | 페로브스카이트 전구체 용액으로부터 프린팅 방법에 의해 페로브스카이트 박막을 형성하는 제1단계; 형성된 페로브스카이트 박막 상에 가스를 분무함으로써 건조시켜 중간체 상태를 형성하는 제2단계; 중간체 상태의 페로브스카이트 박막에 레이져장치로 레이져 조사하고, 상기 레이져 조사 시 측면 온도 구배에 따라 페로브스카이트 박막이 기판에 평행한 방향으로 결정화되는 제3단계; 및 레이져 조사된 페로브스카이트 박막을 열처리하는 제4단계를 포함하는 표면 모폴로지가 제어된 대면적 페로브스카이트 박막의 제조방법이되, 상기 제1단계 내지 제3단계는 인쇄장치-가스블로어-레이져장치가 순서대로 직렬로 결합된 일체형 멀티인쇄장치를 이용하여 단일공정으로 수행하는 것을 특징으로 하는 표면 모폴로지가 제어된 대면적 페로브스카이트 박막의 제조방법. |
| 7 | 제6항에 있어서,상기 프린팅 방법은 슬롯-다이 코팅법인 것을 특징으로 하는 모폴로지가 제어된 대면적 페로브스카이트 박막의 제조방법. |
| 8 | 제6항에 있어서,상기 가스는 질소 또는 아르곤의 불활성기체인 것을 특징으로 하는 모폴로지가 제어된 대면적 페로브스카이트 박막의 제조방법. |
| 9 | 제6항에 있어서,상기 레이져 조사는 380~500 nm 파장의 청색 레이져를 조사하는 것을 특징으로 하는 모폴로지가 제어된 대면적 페로브스카이트 박막의 제조방법. |
| 10 | 제6항에 있어서,상기 레이져 조사시, 레이져 소스 미터의 전력은 1~10 W/cm2인 것을 특징으로 하는 모폴로지가 제어된 대면적 페로브스카이트 박막의 제조방법. |
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