| 번호 | 청구항 |
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| 14 | 제12항의 몰리브덴 박막을 포함하는 전자소자용 저저항 전극. |
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| 3 | 스퍼터링 전력을 300W로 고정하고, 기판 바이어스 전압 -100 내지 -250V, 증착압력 4.0 내지 4.2 mTorr의 증착조건으로 마그네트론 스퍼터링 방법에 의해 몰리브덴 박막을 증착하여, 증착된 몰리브덴 박막의 표면 거칠기 RMS(Root Mean Square Roughness) 값을 4.7 내지 5.2 nm로 제어함과 동시에 비저항 값을 24.5 내지 29.8 μΩ-cm으로 제어하는 방법. |
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| 6 | 제3항의 방법에 따라 제조된 RMS 값 4.7 내지 5.2 nm와 비저항 값 24.5 내지 29.8 μΩ-cm를 갖는 몰리브덴 박막. |
| 7 | 제6항의 몰리브덴 박막을 포함하는 스마트 온실의 내・외벽 부착재료. |
| 8 | 제7항에 있어서,상기 부착재료는 스마트 온실 내 광합성의 균일성을 향상시키는 것을 특징으로 하는 스마트 온실의 내・외벽 부착재료. |
| 9 | 스퍼터링 전력을 300W로 고정하고, 기판 바이어스 전압 -50 내지 -100V, 증착압력 2.4 내지 2.6 mTorr의 증착조건으로 마그네트론 스퍼터링 방법에 의해 몰리브덴 박막을 증착하여, 증착된 몰리브덴 박막의 표면 거칠기 RMS(Root Mean Square Roughness) 값을 2.4 내지 2.45 nm로 제어함과 동시에 비저항 값을 13.8 내지 13.9μΩ-cm 으로 제어하는 방법. |
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| 12 | 제9항의 방법에 따라 제조된 RMS 값 2.4 내지 2.45 nm와 비저항 값 13.8 내지 13.9 μΩ-cm를 갖는 몰리브덴 박막. |
| 13 | 제12항의 몰리브덴 박막을 포함하는 박막형 태양전지용 배면 전극. |
