| 번호 | 청구항 |
|---|---|
| 1 | 폴리실록산과 카본계 원료를 혼합 및 건조시키는 단계,상기 건조된 혼합물을 경화시키는 단계, 상기 경화된 결과물을 열분해시키는 단계, 상기 열분해된 결과물을 100 내지 500rpm의 속도로, 0.5 내지 50시간 동안 분쇄(grinding)시키는 단계, 및 상기 분쇄된 결과물을 1400 내지 1700℃의 온도, 20 내지 50MPa의 압력, 및 비활성 분위기에서 30분 내지 10시간 동안 가압소결시키는 단계를 포함하는 실리콘옥시카바이드 세라믹스의 제조 방법. |
| 2 | 제1항에 있어서,상기 경화는 대기압 하에서 180 내지 250℃로 가열하여 2 내지 48 시간 동안 유지시키는 것인 실리콘옥시카바이드 세라믹스의 제조 방법. |
| 3 | 제1항에 있어서,상기 경화는 열경화인 것인 실리콘옥시카바이드 세라믹스의 제조 방법. |
| 4 | 제1항에 있어서,상기 열분해는 500 내지 1200℃의 온도에서 10분 내지 5시간 동안 불활성 분위기에서 수행되는 것인 실리콘옥시카바이드 세라믹스의 제조 방법. |
| 5 | 제1항에 있어서,상기 분쇄 후 분쇄물의 입자 크기는 1㎛ 미만을 가지도록 하는 것인 실리콘옥시카바이드 세라믹스의 제조 방법. |
| 6 | 제1항에 있어서,상기 가압소결 시, 상기 카본계 원료는 실리콘옥시카바이드 내의 이산화규소 성분과 탄소열환원 반응을 촉진하여, 탄화규소와 이산화규소로의 상 분리를 촉진하며, 이산화규소 성분의 손실로 인해 생성된 실리콘옥시카바이드 내의 용해도 한계를 초과하는 과량의 잔류 탄소는 실리콘옥시카바이드 내에서 그래핀으로 석출되는 것인 실리콘옥시카바이드 세라믹스의 제조방법. |
| 7 | 삭제 |
| 8 | 삭제 |
| 9 | 삭제 |
| 10 | 삭제 |
| 11 | 삭제 |
| 12 | 삭제 |
| 13 | 삭제 |
| 14 | 삭제 |
