제5항에 있어서, 상기 주제수지는, 폴리디메틸실록산(PDMS, PolyDiMethyl Siloxane)을 포함하는 고분자로써 탄성력, 열경화성 및 열가소성을 갖는 일레스토머(elastomer) 고분자인 것을 특징으로 하는, 압력센서 제조방법.

서로 다른 높이를 갖는 복수의 패턴이 표면에 돌출되어 형성된 전도성 복합체; 및 상기 전도성 복합체의 상면 및 하면에 구비되는 전도성 전극을 포함하는, 압력센서이고, 상기 압력센서는, 압력으로 인해 상기 전도성 복합체의 상면측 전도성 전극과 상기 전도성 복합체의 하면측 전도성 전극 간의 간극 변화에 따라 측정되는 피에조 저항인 제1 저항의 변화와, 상기 압력의 점진적 증가에 따라 측정되는 접촉저항인 제2 저항의 변화를 측정하여 서로 다른 제1 저항과 제2 저항의 변화를 동시에 측정하고,상기 복수의 패턴은, 제1 패턴과 상기 제1 패턴 보다 낮은 높이를 갖는 제2 패턴을 포함하며, 상기 제2 저항의 변화를 측정하는 것은, 상기 상면측 전도성 전극이 상기 복수의 패턴 및 상기 전도성 복합체의 표면 중 적어도 하나와 접촉하여 측정되는 접촉 저항의 변화를 측정하는 것이되,상기 상면측 전도성 전극이, 상기 제1 패턴과만 접촉하여 상기 접촉 저항이 측정되기 시작하는 1단계;상기 제1 패턴이 가압되면서 상기 상면측 전도성 전극이 상기 제1 패턴의 옆면과 접촉하여 상기 접촉 저항이 감소하는 2단계; 상기 제1 패턴이 지속적으로 가압되면서 상기 상면측 전도성 전극이 상기 제2 패턴과 접촉하여 상기 2단계 보다 높은 변화율로 상기 접촉 저항이 감소하는 3단계; 상기 제1 패턴 및 제2 패턴이 모두 가압되면서 상기 상면측 전도성 전극이 상기 제2 패턴의 옆면과 접촉하여 상기 3단계 보다 낮은 변화율로 상기 접촉 저항이 감소하는 4단계; 상기 제1 패턴 및 제2 패턴이 모두 가압된 상태에서 상기 상면측 전도성 전극이 상기 전도성 복합체의 표면과 접촉하여 상기 4단계보다 높은 변화율로 상기 접촉 저항이 감소하는 5단계; 및 상기 상면측 전도성 전극이 상기 제1 패턴, 제2 패턴 및 전도성 복합체의 표면과 접촉되어 상기 5단계보다 낮은 변화율로 상기 접촉 저항이 감소하는 6단계에 따라 상기 접촉 저항의 변화를 측정하는 것인, 압력센서.

제1항에 있어서, 상기 복수의 패턴은, 동일 선상에서의 수평 단면적이 서로 다른 것을 특징으로 하는, 압력센서.

제1항에 있어서, 상기 복수의 패턴은, 원뿔대, 피라미드, 반구형, 원통형 및 정육각형 중 적어도 하나로 마련되는 것을 특징으로 하는, 압력센서.

제1항에 있어서, 상기 복수의 패턴은, 상기 표면과의 접촉면에서의 중심점을 기준으로 가장 인접한 패턴과 일정한 간격을 유지하도록 마련되는 것을 특징으로 하는, 압력센서.

서로 다른 높이를 갖는 복수의 패턴을 포함하는 패턴 몰드가 제작되는 단계; 전도성 필러 및 주제수지를 포함하는 페이스트를 상기 패턴 몰드 상에 위치시킨 다음, 열-압착 공정을 수행하여 상기 복수의 패턴이 표면에 돌출되어 형성되는 전도성 복합체가 성형되는 단계; 및 상기 전도성 복합체의 상면 및 하면에 전도성 전극을 접착시켜 압력센서를 제조하는 단계를 포함하고, 상기 압력센서는, 압력으로 인해 상기 전도성 복합체의 상면측 전도성 전극과 상기 전도성 복합체의 하면측 전도성 전극 간의 간극 변화에 따라 측정되는 피에조 저항인 제1 저항의 변화와 상기 압력의 점진적 증가에 따라 측정되는 접촉저항인 제2 저항의 변화를 측정하여 서로 다른 제1 저항과 제2 저항의 변화를 동시에 측정하고,상기 복수의 패턴은, 제1 패턴과 상기 제1 패턴 보다 낮은 높이를 갖는 제2 패턴을 포함하며, 상기 제2 저항의 변화를 측정하는 것은, 상기 상면측 전도성 전극이 상기 복수의 패턴 및 상기 전도성 복합체의 표면 중 적어도 하나와 접촉하여 측정되는 접촉 저항의 변화를 측정하는 것이되,상기 상면측 전도성 전극이, 상기 제1 패턴과만 접촉하여 상기 접촉 저항이 측정되기 시작하는 1단계;상기 제1 패턴이 가압되면서 상기 상면측 전도성 전극이 상기 제1 패턴의 옆면과 접촉하여 상기 접촉 저항이 감소하는 2단계; 상기 제1 패턴이 지속적으로 가압되면서 상기 상면측 전도성 전극이 상기 제2 패턴과 접촉하여 상기 2단계 보다 높은 변화율로 상기 접촉 저항이 감소하는 3단계; 상기 제1 패턴 및 제2 패턴이 모두 가압되면서 상기 상면측 전도성 전극이 상기 제2 패턴의 옆면과 접촉하여 상기 3단계 보다 낮은 변화율로 상기 접촉 저항이 감소하는 4단계; 상기 제1 패턴 및 제2 패턴이 모두 가압된 상태에서 상기 상면측 전도성 전극이 상기 전도성 복합체의 표면과 접촉하여 상기 4단계보다 높은 변화율로 상기 접촉 저항이 감소하는 5단계; 및 상기 상면측 전도성 전극이 상기 제1 패턴, 제2 패턴 및 전도성 복합체의 표면과 접촉되어 상기 5단계보다 낮은 변화율로 상기 접촉 저항이 감소하는 6단계에 따라 상기 접촉 저항의 변화를 측정하는 것인,압력센서 제조방법.

제5항에 있어서, 상기 전도성 필러의 입자는, 카본 블랙, 탄소 나노 튜브, 그래핀, 금속 나노 와이어 및 금속 입자 중에서 선택된 적어도 하나 이상의 입자인 것을 특징으로 하는, 압력센서 제조방법.

제5항에 있어서, 상기 전도성 필러의 입자는, 1차원 형상의 탄소 나노 튜브인 것을 특징으로 하는, 압력센서 제조방법.

제6항에 있어서, 상기 전도성 복합체가 성형되는 단계에서, 상기 전도성 필러는 종횡비(aspect ratio)가 300 내지 2,400이고, 상기 전도성 필러의 입자 직경은 5 내지 30㎚으로 마련되는 것을 특징으로 하는, 압력센서 제조방법.