| 번호 | 청구항 |
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| 1 | 가공대상물이 설치되며, 수평 방향으로 이동가능하게 배치되는 스테이지;상기 가공대상물과 이격되게 배치되며, 상기 가공대상물과의 사이에 방전을 일으키는 방전가공전극; 및상기 가공대상물을 상기 방전가공전극에 대하여 접근 및 이격되는 방향으로 진동시키는 진동유닛;을 포함하는 것을 특징으로 하는 방전가공 시스템. |
| 2 | 제1항에 있어서,상기 진동유닛은 압전소자인 것을 특징으로 하는 방전가공 시스템. |
| 3 | 제1항에 있어서,상기 스테이지의 상측에 결합되며, 내부에 방전가공유와 상기 가공대상물이 배치되는 방전가공용 수조;를 더 포함하며,상기 진동유닛은 상기 스테이지와 상기 방전가공용 수조 사이에 배치되어 상기 방전가공용 수조를 진동시키는 것을 특징으로 하는 방전가공 시스템. |
| 4 | 방전가공전극과 가공대상물 사이의 방전을 이용하여 가공대상물을 가공하는 방전가공방법에 있어서,상기 가공대상물과 상기 방전가공전극을 상호 이격한 상태에서 상기 가공대상물을 상기 방전가공전극에 대하여 일방향으로 이동시키는 수평이동단계와,상기 수평이동단계 중 상기 가공대상물을 상기 방전가공전극에 대하여 접근 및 이격되는 방향으로 진동시킴으로써 상기 가공대상물에 패턴을 형성하는 패턴형성단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방전가공방법. |