수정진동자에 탐침이 결합되는 진동체 및 상기 진동체를 Z축 방향으로 이동시키는 제1 이동장치를 갖는 헤드; 상기 진동체를 진동시키는 진동기 및 상기 진동체의 출력전압을 감지하는 감지기를 갖는 진동모듈; 시료가 배치되는 플레이트 및 상기 플레이트를 X축 및 Y축 방향으로 이동시키는 제2 이동장치를 갖는 샘플스테이지; 시료를 조명하는 조명기 및 상기 탐침에 의해 수집된 광신호를 무전기 신호로 변환하는 신호변환기를 갖는 광학신호모듈; 및 상기 신호변환기 및 상기 진동모듈의 신호를 감지하고, 상기 제1 이동장치 및 제2 이동장치를 제어하는 피드백제어부를 포함하고,시료가 잠겨있는 액체가 증발하더라도 탐침과 시료 표면 사이의 간격을 일정하게 제어할 수 있도록, 상기 탐침의 X축 방향 주사완료 시마다 상기 진동체의 공진주파수 및 출력전압을 재측정하는 것을 특징으로 하는 근접장 주사 광학 현미경 시스템.

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제1 라인의 제1 포인트에 대한 주사를 위해 감지기가 진동체의 공진주파수 및 출력전압을 측정하는 측정세팅단계; 제1 이동장치가 탐침을 시료로 근접시키는 탐침근접단계; 상기 감지기가 제1 설정값 이하의 상기 진동체 출력전압을 감지하면 상기 탐침의 이동을 중지하는 제1 탐침정지단계; 피드백제어부에 상기 탐침의 높이 정보를 저장하는 정보저장단계; 상기 제1 이동장치가 상기 탐침을 시료로부터 이격시키는 제1 탐침이격단계; 상기 감지기가 제2 설정값 이상의 상기 진동체의 출력전압을 감지하면 상기 탐침의 이동을 중지하는 제2 탐침정지단계; 상기 피드백제어부가 주사 완료 여부를 판단하는 완료판정단계; 및주사 미완료가 확인되면 상기 제1 라인의 제2 포인트에 대한 주사를 위해 제2 이동장치가 시료 플레이트를 1 스텝 이동시키는 X축이동단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 근접장 주사 광학 현미경 시스템의 탐침 방법.

제3항에 있어서,상기 완료판정단계는,상기 피드백제어부가 제1 라인에 대한 주사 완료 여부를 판단하는 X축판정단계; 및X축에 대한 주사 미완료가 판정되면 상기 피드백제어부가 Y축 방향의 주사 완료 여부를 판단하는 Y축판정단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 근접장 주사 광학 현미경 시스템의 탐침 방법.

제4항에 있어서,상기 X축판정단계에서 제1 라인에 대한 주사 완료가 판정되면 상기 제1 이동장치가 상기 탐침을 시료로부터 이격시키는 제2 탐침이격단계;상기 제2 이동장치가 상기 시료 플레이트를 X축 초기 위치로 이동시키는 X축초기화단계; 및상기 제2 이동장치가 상기 시료 플레이트를 Y축 방향으로 1 스텝 이동시키는 Y축이동단계를 더 포함하고,상기 탐침을 시료로 근접시키기 전에 상기 감지기가 상기 진동체의 공진주파수 및 출력전압을 재측정하는 것을 특징으로 하는 근접장 주사 광학 현미경 시스템의 탐침 방법.