| 번호 | 청구항 |
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| 1 | 미세홈 측정시스템으로서, 측정대상물의 미세홈의 주변부에서 반사된 광과, 상기 미세홈의 바닥면에서 반사된 광이 간섭된 간섭광을 기반으로 상기 미세홈의 깊이를 측정하는 분광간섭계; 및 상기 미세홈의 직경을 측정하는 FPM 유닛;을 포함하고, 상기 분광간섭계는, 광을 조사하는 광원부와, 상기 광원부에서 조사된 광을 제1방향으로 편광시키는 편광기와, 제1방향으로 편광된 제1편광을 대물렌즈 측으로 반사시키고 상기 측정대상물에서 반사되어 형성된 간섭광이 투과되는 제1빔스플리터를 포함하며, 상기 제1빔스플리터를 투과한 간섭광을 분광기로 입사시키는 편광빔스플리터;를 포함하고, 상기 분광기는 스펙트럼 분광후, 푸리에 영역에서 피크값을 검출하여 상기 미세홈의 깊이를 측정하고, 상기 FPM 유닛은, LED 어레이로 구성된 LED 광원와, 상기 LED광원에서 조사된 광을 대물렌즈의 후초점면에 결상시키기 위한 결상광학계와, 상기 LED 광을 상기 제1방향과 다른 방향인 제2방향으로 편광시키는 편광자와, 상기 후초점면에 결상된 결상이미지를 촬영하는 카메라를 포함하고, 상기 결상이미지를 기반으로 상기 미세홈의 직경을 측정하는 것을 특징으로 하는 간섭계와 FPM을 이용한 미세홈 측정시스템. |
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| 5 | 제 1항에 있어서, 상기 제2방향으로 편광된 제2편광을 반사시키는 제2빔스플리터; 및상기 제2빔스플리터에 반사된 제2편광을 반사키시고, 상기 제1편광을 투과시켜 제1빔스플리터 측으로 입사키시는 제3빔스플리터;를 포함하는 것을 특징으로 하는 간섭계와 FPM을 이용한 미세홈 측정시스템. |
| 6 | 제 5항에 있어서, 상기 결상광학계는 상기 LED 광원과 제2빔스플이터 사이, 및 상기 제2빔스플리터와 제3빔스플리터 사이 각각에 구비되는 것을 특징으로 하는 간섭계와 FPM을 이용한 미세홈 측정시스템. |
| 7 | 제 6항에 있어서, 상기 대물렌즈를 x,y,z 축상으로 이동시키는 피에조구동부; 및상기 측정대상물에 레이저를 조사하는 레이저조사수단; 및반사된 레이저 데이터를 기반으로, 상기 피에조구동부를 제어하여 초점을 조절하는 자동초점조절기;를 포함하며, 상기 레이저조사수단에서 조사되는 레이저는 제4빔스플리터에 의해 반사되어 측정대상물로 입사되어 반사되고 상기 제4빔스플리터에 다시 모두 반사되는 것을 특징으로 하는 간섭계와 FPM을 이용한 미세홈 측정시스템. |
| 8 | 제 7항에 있어서, 상기 카메라 상의 이미지를 기반으로 상기 미세홈의 중심에 초점이 생성되도록 상기 피에조구동부에 의해 상기 대물렌즈를 x,y 축방향으로 이동하고, 상기 자동초점조절기를 통해 상기 피에조구동부에 의해 상기 대물렌즈를 Z축으로 조정하여, 상기 미세홈의 주변부와, 상기 미세홈의 바닥면 중앙 각각에서 광이 반사되도록 하는 것을 특징으로 하는 간섭계와 FPM을 이용한 미세홈 측정시스템. |
