층밀림을 이용한 파면 측정 장치로서, 선형 편광된 광을 제공하는 광 제공부;상기 선형 편광된 광을 광학적 특성을 측정하고자 하는 시편으로 반사시키고, 상기 시편으로부터 반사된 상기 선형 편광된 광을 투과시키는 광 분할기; 상기 광 분할기를 투과한 상기 선형 편광된 광이 입사되면, 상기 입사된 선형 편광된 광을 편광시켜 서로 다른 방향의 제1 광 및 제2 광을 발생시키고, 상기 제1 광 및 상기 제2 광을 다시 편광시켜 상기 입사된 선형 편광된 광의 방향과 평행한 방향으로 진행시켜, 상기 제1 광 및 상기 제2 광의 층밀림을 발생시키는 편광격자모듈; 및상기 편광격자모듈을 통과한 상기 제1 광 및 상기 제2 광으로부터 4개의 위상이 천이된 간섭 무늬를 획득하는 광학 검출부를 포함하는,파면 측정 장치.

제1항에 있어서, 상기 편광격자모듈은, 상기 입사된 선형 편광된 광을 편광시켜 서로 수직한 방향의 상기 제1 광 및 상기 제2 광을 발생시키는 제1 편광격자; 및 상기 제1 편광격자와 소정 간극 이격되게 배치되며, 상기 제1 편광격자를 통과한 상기 제1 광 및 상기 제2 광을 다시 편광시켜 상기 입사된 선형 편광된 광의 방향과 평행한 방향으로 진행시켜, 상기 제1 광 및 상기 제2 광의 층밀림을 발생시키는 제2 편광격자를 포함하는, 파면 측정 장치.

제2항에 있어서, 상기 제1 편광격자 및 상기 제2 편광격자의 사이의 소정 간극과 상기 제1 편광격자 및 상기 제2 편광격자를 통과하는 상기 제1 광 및 상기 제2 광의 회절 각도에 의해 상기 제1 광 및 상기 제2 광의 층밀림이 발생하는, 파면 측정 장치.

제2항에 있어서, 상기 제1 편광격자를 통과한 상기 제1 광의 회전방향과 상기 제1 편광격자를 통과한 상기 제2 광의 회전방향은 역 방향이고, 상기 제2 편광격자를 통과한 상기 제1 광의 회전방향은 상기 제1 편광격자를 통과한 상기 제2 광의 회전방향과 동일하고, 상기 제2 편광격자를 통과한 상기 제2 광의 회전방향은 상기 제1 편광격자를 통과한 상기 제1 광의 회전방향과 동일한, 파면 측정 장치.

제1항에 있어서, 상기 광학 검출부는 편광 카메라를 포함하고,상기 편광 카메라는 0도, 45도, 90도 및 135도의 투과축을 가지는 선형 편광기 배열을 포함하는, 파면 측정 장치.

제1항에 있어서, 상기 광학 검출부는, 상기 4개의 위상 천이된 간섭 무늬로부터 상기 제1 광과 상기 제2 광의 파면의 차이에 해당하는 위상을 연산하고, 상기 연산된 위상을 이용하여 상기 시편의 광학적 특징을 추정하도록 구성된 프로세서를 포함하는,파면 측정 장치.

제2항에 있어서, 상기 제1 편광격자 및 상기 제2 편광격자는 서로 다른 각도로 회전 가능하고, 상기 광학 검출부는, 회전한 상기 제1 편광격자 및 상기 제2 편광격자로부터 발생한 간섭 신호로부터 상기 제1 광 및 상기 제2 광의 위상을 추출하는, 파면 측정 장치.

제2항에 있어서, 상기 제1 편광격자 및 상기 제2 편광격자 사이의 소정 간극은 조정 가능한, 파면 측정 장치.

파면 측정 장치에 기반한, 층밀림을 이용한 파면 측정 방법으로서,상기 파면 측정 장치는, 선형 편광된 광을 제공하는 광 제공부; 상기 선형 편광된 광을 광학적 특성을 측정하고자 하는 시편으로 반사시키고, 상기 시편으로부터 반사된 상기 선형 편광된 광을 투과시키는 광 분할기; 상기 광 분할기를 투과한 상기 선형 편광된 광이 입사되면, 상기 입사된 선형 편광된 광을 편광시켜 서로 다른 방향의 제1 광 및 제2 광을 발생시키고, 상기 제1 광 및 상기 제2 광을 다시 편광시켜 상기 입사된 선형 편광된 광의 방향과 평행한 방향으로 진행시켜, 상기 제1 광 및 상기 제2 광의 층밀림을 발생시키는 편광격자모듈; 및 상기 편광격자모듈을 통과한 상기 제1 광 및 상기 제2 광으로부터 4개의 위상이 천이된 간섭 무늬를 획득하는 광학 검출부를 포함하고,상기 파면 측정 방법은, 상기 4개의 위상 천이된 간섭 무늬로부터 상기 제1 광과 상기 제2 광의 파면의 차이에 해당하는 위상을 연산하는 단계; 및상기 연산된 위상을 이용하여 상기 시편의 광학적 특징을 추정하는 단계를 포함하는,파면 측정 방법.

제9항에 있어서, 상기 편광격자모듈은,상기 입사된 선형 편광된 광을 편광시켜 서로 수직한 방향의 상기 제1 광 및 상기 제2 광을 발생시키는 제1 편광격자; 및 상기 제1 편광격자와 소정 간극 이격되게 배치되며, 상기 제1 편광격자를 통과한 상기 제1 광 및 상기 제2 광을 다시 편광시켜 상기 입사된 선형 편광된 광의 방향과 평행한 방향으로 진행시켜, 상기 제1 광 및 상기 제2 광의 층밀림을 발생시키는 제2 편광격자를 포함하는,파면 측정 방법.

제10항에 있어서, 상기 제1 편광격자 및 상기 제2 편광격자 사이의 소정 간극과 상기 제1 편광격자 및 상기 제2 편광격자를 통과하는 상기 제1 광 및 상기 제2 광의 회절 각도에 의해 상기 제1 광 및 상기 제2 광의 층밀림이 발생하는,파면 측정 방법.

제9항에 있어서, 상기 광학 검출부는 편광 카메라를 포함하고,상기 편광 카메라는 0도, 45도, 90도 및 135도의 투과축을 가지는 선형 편광기 배열을 포함하는, 파면 측정 방법.

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제10항에 있어서, 상기 제1 편광격자 및 상기 제2 편광격자는 서로 다른 각도로 회전 가능하고, 상기 위상을 연산하는 단계는,회전한 상기 제1 편광격자 및 상기 제2 편광격자로부터 발생한 간섭 신호로부터 상기 제1 광 및 상기 제2 광의 위상을 추출하는 과정을 포함하는, 파면 측정 방법.

제9항에 있어서, 상기 위상을 연산하는 단계는, 상기 제1 광 및 상기 제2 광의 파면 편차를 검출하는 과정을 포함하는, 파면 측정 방법.

컴퓨터 프로그램이 저장된 비일시적 컴퓨터 판독가능 매체로서,상기 컴퓨터 프로그램은 컴퓨터 상에서 실행될 때, 컴퓨터로 하여금 제9항 내지 제12항, 제14항 및 제15항 중 어느 하나에 따른 방법을 구현하도록 하는,비일시적 컴퓨터 판독가능 매체.