| 번호 | 청구항 |
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| 1 | Ni 50 중량부 대비 Ti 40 내지 60 중량부 및 Mo 0.05 내지 1 중량부인 합금으로 제조되고, 나선 형상으로 선단을 향하여 단면이 작아지는 본체; 및 상기 본체 외표면에 상온에서 ta-C(tetrahedral amorphous carbon) 코팅된 코팅층을 포함하는, 치과용 파일. |
| 2 | Ni 50 중량부 대비 Ti 40 내지 60 중량부 및 Mo 0.05 내지 1 중량부인 합금으로 제조되고, 나선 형상으로 선단을 향하여 단면이 작아지는 본체 외표면을 상온에서 ta-C(tetrahedral amorphous carbon) 코팅하는 단계를 포함하는, 치과용 파일 제조 방법. |
| 3 | 청구항 1에 있어서, 상기 본체는 나선 형상의 가공 방향이 길이 방향과 평행한, 치과용 파일. |
| 4 | 삭제 |
| 5 | 청구항 1에 있어서, 상기 합금은 분말야금법에 의해 제조된 것인, 치과용 파일. |
| 6 | 청구항 1에 있어서, 상기 본체는 진공아크 용해법에 의해 제조된 Ni-Ti-Mo 합금 잉곳(Ingot)으로 성형된 것인, 치과용 파일, |
| 7 | 청구항 1에 있어서, 상기 본체는 Ni-Ti-Mo 합금을 700 내지 1000 ℃에서 열간 압연하는 공정; 및 스웨이징 공정을 포함하여 제조된, 치과용 파일. |
| 8 | 청구항 7에 있어서, 상기 압연 공정의 압하율이 1 내지 5 %인, 치과용 파일. |
| 9 | 청구항 1에 있어서, 상기 코팅층은 두께가 0.5 내지 5 μm인, 치과용 파일. |
| 10 | 청구항 1에 있어서, 상기 코팅층은 표면 거칠기가 0.1 내지 0.5 μm인, 치과용 파일. |
| 11 | 청구항 1에 있어서, 상기 코팅층은 마찰 계수가 0.1 내지 0.2인, 치과용 파일. |
| 12 | 청구항 1에 있어서, 상기 코팅층은 나노인덴터를 이용하여 측정한 탄성계수가 50 내지 110인, 치과용 파일. |
| 13 | 청구항 1에 있어서, 상기 코팅층은 아크-이온 플레이팅 방법으로 형성된 것인, 치과용 파일. |
