제1 항에 있어서,상기 광원부는 광원과;상기 광원으로부터 조사된 조사광을 확장하는 확장부와;상기 확장된 조사광을 선형 편광시키는 선형편광부를 포함하는 것을 특징으로 하는박막두께 측정장치.

측정대상체가 세팅되는 시료부와;상기 측정대상체로 소정의 조사광을 조사하는 광원부와;상기 측정대상체로부터 반사되는 반사광을 수광하는 수광부와;상기 반사광의 편광상태를 변환하기 위해 상기 반사광의 경로상에 배치되는 것으로서, 상기 반사광을 서로 다른 다수의 편광상태로 변환하는 편광유닛을 포함하되,상기 수광부는 상기 수광된 반사광을 파장별로 분광하는 분광부와;상기 분광부로부터 분광된 반사광의 파장별 광학적 데이터를 분석하여 다수의 이미지 형태로 추출하는 데이터추출부를 포함하며,상기 데이터추출부는 편광카메라이고,상기 편광유닛은 좌우방향 또는 상하방향으로 다수개가 배열되고, 상기 분광부에서 파장별로 분광된 반사광을 각각 서로 다른 편광상태로 변환하여 상기 데이터추출부에 전달하며,상기 편광유닛은좌우방향으로 연장된 가상의 중심선을 기준으로 90°의 편광각을 가지는 제1 단위편광부와;상기 가상의 중심선을 기준으로 45°의 편광각을 가지는 제2 단위편광부와;상기 가상의 중심선을 기준으로 135°의 편광각을 가지는 제3 단위편광부와; 상기 가상의 중심선과 나란하게 형성된 패턴으로 이루어지는 제4 단위편광부를 포함하며, 상기 제1 내지 제4 단위편광부는 상호 인접되게 각각 결합되는 것을 특징으로 하는박막두께 측정장치.

제1 항에 있어서,상기 편광유닛은 상기 반사광을 서로 다른 편광상태로 변환할 수 있도록 상호 상이한 형상의 패턴을 갖는 다수의 단위편광부를 포함하는 것을 특징으로 하는박막두께 측정장치.

제2 항에 있어서,상기 단위편광부는 상기 패턴들이 좌우방향으로 연장된 가상의 중심선을 기준으로 소정의 편광각을 갖도록 연장된 것을 특징으로 하는박막두께 측정장치.

제3 항에 있어서,상기 단위편광부들중 하나는 상기 편광각이 90°인 것을 특징으로 하는박막두께 측정장치.

제3 항에 있어서,상기 단위편광부들중 하나는 상기 편광각이 45°인 것을 특징으로 하는박막두께 측정장치.

제3 항에 있어서,상기 단위편광부들중 하나는 상기 편광각이 135°인 것을 특징으로 하는박막두께 측정장치.

제3 항에 있어서,상기 단위편광부들중 하나는 상기 가상의 중심선과 나란하게 형성된 패턴으로 이루어진 것을 특징으로 하는박막두께 측정장치.

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제1 항에 있어서,상기 제2 단위편광부는 상기 제1 단위편광부의 우측 가장자리에 결합되는 것을 특징으로 하는박막두께 측정장치.

제1 항에 있어서,상기 제3 단위편광부는 상기 제1 단위편광부의 하단 가장자리에 결합되는 것을 특징으로 하는박막두께 측정장치.

제1 항에 있어서,상기 제4 단위편광부는 상기 제2 단위편광부의 하단 가장자리 및 상기 제3 단위편광부의 우측 가장자리에 결합되는 것을 특징으로 하는박막두께 측정장치.

제1 항에 있어서,상기 제1 내지 4 단위편광부는 상기 반사광의 경로상과 동일한 위치에 배치되는 것을 특징으로 하는 박막두께 측정장치.

제1 항에 있어서,상기 수광부는상기 측정대상체로부터 반사된 반사광의 경로상에 배치되는 것으로서, 특정 편광상태를 유도하는 위상지연판과;상기 위상지연판을 통과한 반사광을 수광하는 이미징렌즈를 포함하며,상기 분광부는 상기 이미징렌즈와 연결되는 것을 특징으로 하는박막두께 측정장치.