웨어러블 온도 센서 및 웨어러블 온도 센서 제조 방법
WEARABLE TEMPERATURE SENSOR AND MANUFACTURING METHOD OF WEARABLE TEMPERATURE SENSOR
특허 요약
웨어러블 온도 센서 및 웨어러블 온도 센서 제조 방법이 개시된다. 상기 웨어러블 온도 센서는 박막형의 제1 전극; 상기 제1 전극과 이격되어 형성된 박막형의 제2 전극; 적어도 상기 제1 전극과 상기 제2 전극에 각각 접촉하고, 적어도 일부가 환원된 산화그래핀을 포함하는 박막형의 가변전도부; 및 폴리이미드를 포함하고, 상기 제1 전극, 상기 제2 전극 및 상기 가변전도부의 적어도 일부를 상면에서 커버하는 상면보호층; 및 하면에서 커버하는 하면보호층;을 포함하는 보호층부;를 포함할 수 있다.
청구항
번호청구항
1

박막형의 제1 전극;상기 제1 전극과 이격되어 형성된 박막형의 제2 전극;적어도 상기 제1 전극과 상기 제2 전극에 각각 접촉하고, 적어도 일부가 환원된 산화그래핀을 포함하는 박막형의 가변전도부; 및폴리이미드(polyimide)를 포함하고, 상기 제1 전극, 상기 제2 전극 및 상기 가변전도부의 적어도 일부를 상면에서 커버하는 상면보호층; 및 하면에서 커버하는 하면보호층;을 포함하는 보호층부;를 포함하는,웨어러블 온도 센서.

2

제1항에 있어서,상기 제1 전극 및 상기 제2 전극은 금속을 포함하는,웨어러블 온도 센서.

3

제2항에 있어서,상기 제1 전극 및 상기 제2 전극은 구리를 포함하는,웨어러블 온도 센서.

4

제1항에 있어서,상기 웨어러블 온도 센서는 25 내지 50 ℃의 온도를 센싱하는,웨어러블 온도 센서.

5

제4항에 있어서,상기 웨어러블 온도 센서는 25 내지 50 ℃의 온도 범위에서 0.9999 이상의 R2 값의 선형성을 가지는,웨어러블 온도 센서.

6

제4항에 있어서,상기 웨어러블 온도 센서는 0.1172 내지 2.085 %/℃의 민감도를 가지는,웨어러블 온도 센서.

7

제6항에 있어서,상기 웨어러블 온도 센서는 250 ℃의 열에 노출된 후에 -1.0 내지 -1.5 %의 민감도 저하를 가지는,웨어러블 온도 센서.

8

폴리이미드를 포함하는 하면보호층 상에 적어도 일부가 환원된 산화그래핀을 포함하는 가변전도층을 형성하는 제1 단계;상기 가변전도층 상에 전도성물질을 포함하는 전극층을 형성하는 제2 단계;서로 이격된 제1 전극 및 제2 전극을 형성하도록 상기 전극층을 패터닝하는 제3 단계;상기 제1 전극 및 상기 제2 전극에 각각 접촉하도록 상기 가변전도층을 패터닝하는 제4 단계; 및상기 가변전도층, 상기 제1 전극 및 상기 제2 전극의 적어도 일부를 커버하도록 폴리이미드를 포함하는 상면보호층을 형성하는 제5 단계;를 포함하는,웨어러블 온도 센서 제조 방법.

9

제8항에 있어서,상기 전극층은 금속을 포함하는,웨어러블 온도 센서 제조 방법.

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제9항에 있어서,상기 전극층은 구리를 포함하는,웨어러블 온도 센서 제조 방법.

11

제8항에 있어서,상기 웨어러블 온도 센서 제조 방법에 의해 제조된 웨어러블 온도 센서는 25 내지 50 ℃의 온도를 센싱하는,웨어러블 온도 센서 제조 방법.

12

제11항에 있어서,상기 웨어러블 온도 센서 제조 방법에 의해 제조된 웨어러블 온도 센서는 25 내지 50 ℃의 온도 범위에서 0.9999 이상의 R2 값의 선형성을 가지는,웨어러블 온도 센서 제조 방법.

13

제11항에 있어서,상기 웨어러블 온도 센서 제조 방법에 의해 제조된 웨어러블 온도 센서는 0.1172 내지 2.085 %/℃의 민감도를 가지는,웨어러블 온도 센서 제조 방법.

14

제13항에 있어서,상기 웨어러블 온도 센서 제조 방법에 의해 제조된 웨어러블 온도 센서는 250 ℃의 열에 노출된 후에 -1.0 내지 -1.5 %의 민감도 저하를 가지는,웨어러블 온도 센서 제조 방법.

15

제8항 내지 제14항 중 어느 한 항에 따른 웨어러블 온도 센서 제조 방법에 의해 제조된,웨어러블 온도 센서.