마이크로파를 발생시키는 마그네트론; 내부의 타겟 물질에 상기 마이크로파가 조사되는 캐비티; 상기 마그네트론으로부터 상기 캐비티를 연결시켜, 상기 마그네트론으로부터 출력된 상기 마이크로파를 상기 캐비티로 전달하는 도파관; 상기 캐비티 내의 상기 마이크로파의 반사파를 순환시켜 다시 상기 캐비티로 안내하여 상기 타겟 물질에 조사되도록 하는 반사파 순환 도파관; 및 상기 캐비티와 연결되는 상기 반사파 순환 도파관의 출구에 구성되는 복수의 반사파 순환 전자석을 포함하고, 상기 반사파 순환 도파관은, 'ㄱ'자 또는 'ㄴ'자 형태로 구성되어 상기 도파관과 상기 캐비티를 연결하며, 상기 캐비티에서 상기 도파관으로 전달되는 상기 마이크로파의 반사파를 통과시켜 출구를 통해 다시 상기 캐비티로 안내하고, 상기 반사파 순환 전자석은, 금속에 코일을 감은 솔레노이드 형태의 전자석으로 이루어져 상기 캐비티와 연결되는 상기 반사파 순환 도파관의 출구의 위아래 양측에 구성되며, 상기 반사파 순환 전자석의 방향은 솔레노이드의 축 방향이 상기 캐비티를 향하도록 배치하고, 전류의 방향을 조절하여 S극이 상기 캐비티의 방향을 향하도록 배치하여 N극에서 나와 S극으로 들어가는 자기장이 형성되며, 상기 캐비티에서 상기 반사파 순환 도파관의 출구 측으로 들어오는 상기 마이크로파의 반사파가 상기 자기장을 따라 굴절되어 다시 상기 캐비티 방향으로 되돌아가도록 하고, 상기 캐비티에서 상기 도파관으로 들어와 상기 반사파 순환 도파관을 통과하는 상기 마이크로파의 반사파를 상기 자기장의 방향에 따라 상기 캐비티로 안내함에 따라, 상기 반사파 순환 도파관의 출구로 되돌아오거나 상기 도파관을 통해 들어오는 두 가지 경로에 대해서 상기 캐비티로 마이크로파의 반사파를 안내하여 집중시키는, 마이크로파 장치.

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제1항에 있어서,상기 도파관에 구성되어, 상기 캐비티에서 상기 도파관으로 되돌아온 상기 마이크로파의 반사파의 방향을 전환하여 상기 반사파 순환 도파관으로 안내하는 서큘레이터를 더 포함하는, 마이크로파 장치.

입구가 마그네트론으로부터 출력된 마이크로파를 캐비티로 전달하는 도파관과 연결되고 출구가 상기 캐비티와 연결되어, 상기 캐비티 내의 상기 마이크로파의 반사파를 순환시켜 다시 상기 캐비티로 안내하여 내부의 타겟 물질에 조사되도록 하는 반사파 순환 도파관; 및 상기 캐비티와 연결되는 상기 반사파 순환 도파관의 출구에 구성되는 복수의 반사파 순환 전자석을 포함하고, 상기 반사파 순환 도파관은, 'ㄱ'자 또는 'ㄴ'자 형태로 구성되어 상기 도파관과 상기 캐비티를 연결하며, 상기 캐비티에서 상기 도파관으로 전달되는 상기 마이크로파의 반사파를 통과시켜 출구를 통해 다시 상기 캐비티로 안내하고, 상기 반사파 순환 전자석은, 금속에 코일을 감은 솔레노이드 형태의 전자석으로 이루어져, 상기 캐비티와 연결되는 상기 반사파 순환 도파관의 출구의 위아래 양측에 구성되며, 상기 반사파 순환 전자석의 방향은 솔레노이드의 축 방향이 상기 캐비티를 향하도록 배치하고, 전류의 방향을 조절하여 S극이 상기 캐비티의 방향을 향하도록 배치하여 N극에서 나와 S극으로 들어가는 자기장이 형성되며, 상기 캐비티에서 상기 반사파 순환 도파관의 출구 측으로 들어오는 상기 마이크로파의 반사파가 상기 자기장을 따라 굴절되어 다시 상기 캐비티 방향으로 되돌아가도록 하고, 상기 캐비티에서 상기 도파관으로 들어와 상기 반사파 순환 도파관을 통과하는 상기 마이크로파의 반사파를 상기 자기장의 방향에 따라 상기 캐비티로 안내함에 따라, 상기 반사파 순환 도파관의 출구로 되돌아오거나 상기 도파관을 통해 들어오는 두 가지 경로에 대해서 상기 캐비티로 마이크로파의 반사파를 안내하여 집중시키는, 반사파 순환 장치.

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