| 번호 | 청구항 |
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| 1 | 유기 재료로 구성되고, 태양전지 상에 형성된 제1 유기 배리어;무기 재료로 구성되고, 상기 제1 유기 배리어 상에 형성된 무기 배리어; 및유기 재료로 구성되고, 상기 무기 배리어 상에 형성된 제2 유기 배리어를 포함하고, 상기 무기 배리어는 제1 무기재료로 구성된 하나 이상의 제1 하위층과 제2 무기재료로 구성된 하나 이상의 제2 하위층이 교차하여 형성된 것이고, 상기 제1 하위층은 Al2O3 로 구성되고, 상기 제2 하위층은 TiO2 로 구성되고, 저온 공정 기반 원자층 증착(Atomic Layer Deposition, ALD) 공정을 통해 상기 제1 하위층과 상기 제2 하위층이 교차 증착되는 방식으로 상기 무기 배리어가 형성되고, 상기 제1 유기 배리어와 상기 제2 유기 배리어는 패럴린-C(Paryelene-C)로 구성되며, 상기 Al2O3 의 두께가 3nm이고, 상기 TiO2 의 두께가 3nm인 것을 특징으로 하는 태양전지용 봉지 배리어. |
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| 7 | 태양전지 상에 유기 재료로 구성된 제1 유기 배리어를 형성하는 단계;상기 제1 유기 배리어 상에 무기 재료로 구성된 무기 배리어를 형성하는 단계; 및상기 무기 배리어 상에 유기 재료로 구성된 제2 유기 배리어를 형성하는 단계를 포함하고, 상기 무기 배리어를 형성하는 단계에서, 제1 무기재료로 구성된 하나 이상의 제1 하위층과 제2 무기재료로 구성된 하나 이상의 제2 하위층이 교차하도록 하여 무기 배리어를 형성하는 것이고, 상기 제1 하위층은 Al2O3 로 구성되고, 상기 제2 하위층은 TiO2 로 구성되고, 상기 무기 배리어를 형성하는 단계에서, 저온 공정 기반 원자층 증착(Atomic Layer Deposition, ALD) 공정을 통해 상기 제1 하위층과 상기 제2 하위층을 교차 증착하는 방식으로 상기 무기 배리어를 형성하는 것이고, 상기 제1 유기 배리어와 상기 제2 유기 배리어는 패럴린-C(Paryelene-C)로 구성되며, 상기 Al2O3 의 두께가 3nm이고, 상기 TiO2 의 두께가 3nm로 형성되는 것을 특징으로 하는 태양전지용 봉지 배리어 제조 방법. |
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