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번호	청구항
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5	탄성 및 절연성을 갖는 제1 베이스 부재를 마련하는 단계;탄성 및 절연성을 가지며, 일면에 하나 이상의 범프가 돌출되는 제2 베이스 부재를 마련하는 단계;상기 제1 베이스 부재의 일면에 상기 제1 베이스 부재의 길이 방향을 따라 감지 라인을 형성하는 단계;상기 제1 베이스 부재의 상부에 상기 범프가 상기 감지 라인과 대응하도록 상기 제2 베이스 부재를 위치시키고, 상기 제1 베이스 부재와 상기 제2 베이스 부재를 접합시키는 단계; 및상기 감지 라인의 양단에 상기 감지 라인의 저항 변화를 측정하는 도선을 연결하는 단계를 포함하고,상기 감지 라인을 형성하는 단계는, 전도성 나노 튜브를 포함하는 슬러리를 마련하는 단계; 및상기 슬러리를 적층 제조 장치의 노즐을 통해 상기 제1 베이스 부재의 일면에 압출하는 단계를 포함하며,상기 슬러리를 마련하는 단계는, 전도성 나노 튜브 입자를 이소프로필 알코올 용액에 기 설정된 시간 간격으로 분산 및 초음파 처리하는 단계;20 중량%의 메틸기 말단(methyl group-terminated) PDMS를 상기 용액에 첨가하고 초음파 처리하는 단계;80 중량%의 PDMS 예비중합체(prepolymer)를 상기 용액에 혼합하여 초음파 처리하는 단계; 및용매를 증발시킨 후 10 중량%의 PDMS 가교제를 혼합하는 단계를 포함하는, 탄성 촉각 센서의 제조 방법.
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8	청구항 5에 있어서, 상기 제2 베이스 부재를 마련하는 단계는, 상기 제2 베이스 부재의 일면에 복수 개의 범프를 일직선 상으로 상호 이격하여 마련하는 단계를 포함하고, 상기 접합시키는 단계는, 상기 복수 개의 범프가 상기 감지 라인을 따라 배열되도록 상기 제2 베이스 부재를 위치시키는 단계를 포함하는, 탄성 촉각 센서의 제조 방법.

탄성 및 절연성을 갖는 제1 베이스 부재를 마련하는 단계;탄성 및 절연성을 가지며, 일면에 하나 이상의 범프가 돌출되는 제2 베이스 부재를 마련하는 단계;상기 제1 베이스 부재의 일면에 상기 제1 베이스 부재의 길이 방향을 따라 감지 라인을 형성하는 단계;상기 제1 베이스 부재의 상부에 상기 범프가 상기 감지 라인과 대응하도록 상기 제2 베이스 부재를 위치시키고, 상기 제1 베이스 부재와 상기 제2 베이스 부재를 접합시키는 단계; 및상기 감지 라인의 양단에 상기 감지 라인의 저항 변화를 측정하는 도선을 연결하는 단계를 포함하고,상기 감지 라인을 형성하는 단계는, 전도성 나노 튜브를 포함하는 슬러리를 마련하는 단계; 및상기 슬러리를 적층 제조 장치의 노즐을 통해 상기 제1 베이스 부재의 일면에 압출하는 단계를 포함하며,상기 슬러리를 마련하는 단계는, 전도성 나노 튜브 입자를 이소프로필 알코올 용액에 기 설정된 시간 간격으로 분산 및 초음파 처리하는 단계;20 중량%의 메틸기 말단(methyl group-terminated) PDMS를 상기 용액에 첨가하고 초음파 처리하는 단계;80 중량%의 PDMS 예비중합체(prepolymer)를 상기 용액에 혼합하여 초음파 처리하는 단계; 및용매를 증발시킨 후 10 중량%의 PDMS 가교제를 혼합하는 단계를 포함하는, 탄성 촉각 센서의 제조 방법.