탄성 및 절연성을 갖는 베이스 부재;상기 베이스 부재의 상부에 형성되는 전극층; 및상기 전극층의 상부에서 상기 전극층과 접촉되고, 외부에서 가해지는 압력에 따라 체적이 변화하여 저항 값이 변화되도록 마련되는 감지층을 포함하고, 상기 전극층은, 상기 베이스 부재의 상면 일측에 마련되는 제1 전극 패드;상기 베이스 부재의 상면 타측에 마련되는 제2 전극 패드;상기 베이스 부재의 상면에서 상기 제1 전극 패드와 상기 제2 전극 패드 사이에 마련되는 접촉부;상기 베이스 부재의 상면에서 상기 제1 전극 패드와 상기 접촉부를 연결하며 마련되는 제1 전극 라인; 및상기 베이스 부재의 상면에서 상기 제2 전극 패드와 상기 접촉부를 연결하며 마련되는 제2 전극 라인을 포함하며, 상기 감지층은, 상기 접촉부의 상부에서 상기 접촉부와 접촉하여 마련되는, 탄성 촉각 센서.

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청구항 1에 있어서, 상기 감지층은, 탄성을 갖는 액상에 전도성 나노 튜브를 분산시켜 경화한 것인, 탄성 촉각 센서.

청구항 3에 있어서, 상기 접촉부는, 상기 제1 전극 패드 및 상기 제2 전극 패드 보다 넓은 면적으로 마련되고,상기 감지층은, 상기 접촉부의 면적 이하의 면적을 가지며, 복수 개의 층이 적층된 형태로 마련되는, 탄성 촉각 센서.

청구항 3에 있어서, 상기 제1 전극 패드 및 상기 제1 전극 라인은 제1 저항이고, 상기 접촉부는 제2 저항이며,상기 제2 전극 패드 및 상기 제2 전극 라인은 제3 저항이고, 상기 감지층은 외부 압력에 따라 변하는 가변 저항이며, 상기 제2 저항과 상기 가변 저항은 병렬로 연결되고, 상기 제1 저항 및 상기 제3 저항은 각각 상기 제2 저항 및 상기 가변 저항에 직렬로 연결되는, 탄성 촉각 센서.

청구항 3에 있어서, 상기 접촉부는, 상기 제1 전극 패드 및 상기 제2 전극 패드 사이의 중간 지점에 마련되고, 상기 제1 전극 라인 및 상기 제2 전극 라인은, 동일한 길이로 마련되는, 탄성 촉각 센서.

탄성 및 절연성을 갖는 베이스 부재를 마련하는 단계;상기 베이스 부재의 상부에 전극층을 형성하는 단계; 및상기 전극층의 상부에서 상기 전극층과 접촉되도록 감지층을 형성하는 단계를 포함하고,상기 감지층은, 외부에서 가해지는 압력에 따라 체적이 변화하여 저항 값이 변화되도록 마련되고, 상기 전극층을 형성하는 단계는, 상기 베이스 부재의 상면 일측에 제1 전극 패드를 형성하는 단계;상기 베이스 부재의 상면 타측에 제2 전극 패드를 형성하는 단계;상기 베이스 부재의 상면에서 상기 제1 전극 패드와 상기 제2 전극 패드 사이에 접촉부를 형성하는 단계;상기 베이스 부재의 상면에서 상기 제1 전극 패드와 상기 접촉부를 연결하며 제1 전극 라인을 형성하는 단계; 및상기 베이스 부재의 상면에서 상기 제2 전극 패드와 상기 접촉부를 연결하며 제2 전극 라인을 형성하는 단계를 포함하며, 상기 감지층은, 상기 접촉부의 상부에서 상기 접촉부와 접촉하여 마련되는, 탄성 촉각 센서의 제조 방법.

청구항 7에 있어서, 상기 전극층을 형성하는 단계는, 도전성 슬러리를 적층 제조(Additive Manufacturing) 장치의 노즐을 통해 상기 베이스 부재의 상면에 압출하는 단계를 포함하는, 탄성 촉각 센서의 제조 방법.

청구항 8에 있어서, 상기 감지층을 형성하는 단계는,전도성 나노 튜브를 포함하는 슬러리를 마련하는 단계;상기 슬러리를 적층 제조(Additive Manufacturing) 장치의 노즐을 통해 상기 전극층의 상면에 압출하는 단계를 포함하는, 탄성 촉각 센서의 제조 방법.

청구항 9에 있어서, 상기 슬러리를 마련하는 단계는, 전도성 나노 튜브 입자를 이소프로필 알코올 용액에 30분 간격으로 분산 및 초음파 처리하는 단계;20 중량%의 메틸기 말단(methyl group-terminated) PDMS를 상기 용액에 첨가하고 초음파 처리하는 단계;80 중량%의 PDMS 예비중합체(prepolymer)를 상기 용액에 혼합하여 초음파 처리하는 단계; 및용매를 증발시킨 후 10 중량%의 PDMS 가교제를 혼합하는 단계를 포함하는, 탄성 촉각 센서의 제조 방법.

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청구항 7에 있어서, 상기 접촉부는, 상기 제1 전극 패드 및 상기 제2 전극 패드 보다 넓은 면적으로 마련되고,상기 감지층을 형성하는 단계는, 상기 접촉부의 상부에서 복수 개의 적층된 레이어를 형성하는 단계를 포함하고, 상기 감지층은, 상기 접촉부의 면적 이하의 면적을 가지도록 하는, 탄성 촉각 센서의 제조 방법.