| 번호 | 청구항 |
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| 1 | 사형(serpentine shape) 인덕터 및 하부 커패시터 전극을 포함하는 하부 파트를 준비하는 단계; 상부 커패시터 전극을 포함하는 상부 파트를 준비하는 단계; 및 상기 하부 파트와 상기 상부 파트를 접합하는 단계를 포함하고, 상기 상부 파트를 준비하는 단계는,웨이퍼를 준비하는 단계; 상기 웨이퍼 상에 제1 몸체층을 형성하는 단계; 상기 제1 몸체층 상에 티타늄 및 구리를 포함하는 상부 커패시터 전극을 형성하는 단계; 상기 상부 커패시터 전극 상에 제2 몸체층을 패터닝하는 단계; 감광제를 이용하여 상하부 연결 전극 형성을 위한 포토레지스트 패턴을 형성하는 단계; 전해도금 공정을 이용하여 상기 상부 커패시터 전극 상에 상하부 연결 전극을 형성하고, 상기 상하부 연결 전극 형성을 위한 포토레지스트 패턴을 제거하는 단계; 및 상기 제2 몸체층 상에 본딩 레지스트 패턴 및 공극을 형성하는 단계를 포함하며,상기 하부 파트를 준비하는 단계는, 웨이퍼를 준비하는 단계; 상기 웨이퍼 상에 상하 관통된 홀을 갖는 제3 몸체층을 적층하는 단계; 상기 제3 몸체층 상에 금속층(metal layer)을 증착하는 단계; 감광제를 이용하여 사형(serpentine shape) 인덕터 형성을 위한 포토레지스트 패턴을 형성하는 단계; 전해도금 공정을 이용하여 상기 포토레지스트 패턴을 채우는 단계; 상기 포토레지스트 패턴 및 상기 포토레지스트 패턴과 맞닿는 일부의 상기 금속층을 제거하여 사형(serpentine shape) 인덕터 및 하부 커패시터 전극을 형성하는 단계; 및 상기 제3 몸체층 및 상기 인덕터 상에 제4 몸체층을 적층하는 단계를 포함하고,상기 제4 몸체층 상에 사형 인덕터를 형성하는 단계를 추가로 포함하며,상기 몸체층들은 SU-8, 페릴렌(Perylene), 폴리락트산(PLA), L-폴리락트산(PLLA), D-폴리락트산(PDLA), DL-폴리락트산(PDLLA), 폴리카프로락톤(PCL) 또는 폴리 3-히드록시부티레이트(PHB) 재질인 것을 특징으로 하는, 혈관 압력 센서의 제조 방법. |
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| 6 | 제 1 항의 제조 방법으로 제조된 혈관 압력 센서. |
| 7 | 제 6 항의 혈관 압력 센서를 구비하는 혈관용 스텐트. |
| 8 | 혈관용 스텐트의 제조방법으로서,제 1 항에 따라 혈관 압력 센서를 제조하는 단계;샤프트 상에 수용성 폴리머 또는 양면 수용성 테이프를 코팅하는 단계;상기 혈관 압력 센서를 고정시키는 단계;폴리머 스텐트를 프린팅하는 단계; 및물을 이용하여 상기 수용성 폴리머 또는 양면 수용성 테이프를 제거하는 단계를 포함하는,혈관용 스텐트의 제조 방법. |
