제2항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,상기 압저항센서는 상기 외팔보 상부 및 하부에 한 쌍씩 마련되는 것을 특징으로 하는 캔틸레버 구조체.

제5항에 있어서,상기 압저항센서들은 폴리머 계열 물질의 보호막으로 덮여 있는 것을 특징으로 하는 캔틸레버 구조체.

캔틸레버 구조체에 있어서, 폴리머 계열 물질로 마련되는 바디부; 상기 바디부에 지지되는 외팔보지지부와, 상기 외팔보지지부로부터 상기 바디부의 외측으로 연장된 외팔보와, 상기 외팔보의 자유 단부 영역에 형성되는 탐침이 폴리머 계열 물질에 의해 일체로 형성된 캔틸레버;상기 캔틸레버 상부 및 하부에 마련되어 상기 외팔보의 휨변형을 측정하기 위한 휘트스톤브리지 회로를 형성하는 한 쌍의 회로패드를 포함하는 것을 특징으로 하는 캔틸레버 구조체.

제1항에 있어서, 상기 각 회로패드는 상기 외팔보측에 마련되는 적어도 하나의 압저항센서와, 상기 외팔보지지부에 마련되는 고정저항과, 상기 외팔보지지부에 마련되어 전원전압을 인가받는 전류입력단부와, 상기 압저항센서 및 상기 고정저항을 상기 전류입력단부와 전기적으로 연결하는 도전부분을 포함하는 것을 특징으로 하는 캔틸레버 구조체.

제2항에 있어서, 상기 바디부와 상기 캔틸레버는 SU-8(감광막)로 형성되는 것을 특징으로 하는 캔틸레버 구조체.

제3항에 있어서, 상기 회로패드는 금(Au) 또는 크롬(Cr) 재질로 마련되는 것을 특징으로 하는 캔틸레버 구조체.

바디부; 상기 바디부에 지지되는 외팔보지지부와, 상기 외팔보지지부로부터 상기 바디부의 외측으로 연장된 외팔보와, 상기 외팔보의 자유 단부 영역에 형성되는 탐침를 갖는 캔틸레버;를 포함하는 캔틸레버 구조체의 제조방법에 있어서, 실리콘 웨이퍼에 상기 탐침이 첨예한 끝단을 갖도록 형성하기 위해 'V'자 단면의 홈을 형성하는 단계;상기 실리콘 웨이퍼 전면에 산화막 및 희생막인 알루미늄을 순차적으로 형성하는 단계;상기 희생막 상에 금속 물질을 증착 및 패터닝하여 상기 외팔보의 하부에 위치하는 적어도 하나의 압저항센서 및 상기 압저항센서를 포함하는 휘트스톤 브리지 회로를 갖는 하부 회로패드를 형성하는 단계;상기 하부 회로패드 상에 폴리머 계열 물질로 상기 캔틸레버를 형성하는 단계;상기 캔틸레버 상에 금속 물질을 증착 및 패터닝하여 상기 외팔보의 상부에 위치하는 적어도 하나의 압저항센서 및 상기 압저항센서를 포함하는 휘트스톤 브리지 회로를 갖는 상부 회로패드를 형성하는 단계;상기 상부 회로패드가 형성된 외팔보지지부 영역에 폴리머 계열 물질로 상기 바디부를 형성하는 단계; 상기 희생막을 제거하여 상기 실리콘 웨이퍼를 분리하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 캔틸레버 구조체의 제조방법.

제7항에 있어서, 'V'자 단면의 홈을 형성하는 단계는 상기 실리콘 웨이퍼의 적어도 일면에 제 1 산화막을 형성하는 단계와, 상기 제 1 산화막에 상기 탐침 형성을 위한 개구부를 형성하는 단계와,상기 개구부에 대응하는 상기 실리콘 웨이퍼 일영역을 식각하여 상기 V자 단면의 홈을 형성하는 단계와,상기 제 1 산화막을 제거하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 캔틸레버 구조체의 제조방법.

제8항에 있어서, 상기 개구부를 형성하는 단계는 상기 제 1 산화막 상에 상기 개구부에 대응하는 포토레지스트 패턴을 형성하고, 상기 포토레지스트 패턴을 식각 마스크로 하여 제 1 산화막에 상기 개구부를 형성하는 단계인 것을 특징으로 하는 캔틸레버 구조체의 제조방법.

제8항에 있어서, 상기 실리콘 웨이퍼 전면에 산화막 및 희생막인 알루미늄을 순차적으로 형성하는 단계는상기 제 1 산화막을 제거하여 'V'자 단면의 홈이 형성된 상기 실리콘 웨이퍼 전면에 열산화 공정으로 제 2 산화막을 형성한 다음, 상기 희생막을 형성하는 단계인 것을 특징으로 하는 캔틸레버 구조체의 제조방법.

제7항 내지 제10항 중 어느 한 항에 있어서,상기 캔틸레버를 형성하는 단계는 진공 챔버에서 수행되는 것을 특징으로 하는 캔틸레버 구조체의 제조방법.

제11항에 있어서,상기 바디부와 상기 캔틸레버는 SU-8(감광막)로 형성되는 것을 특징으로 하는 캔틸레버 구조체의 제조방법.

제12항에 있어서, 상기 상부 및 하부 회로패드는 금(Au) 또는 크롬(Cr) 재질로 마련되는 것을 특징으로 하는 캔틸레버 구조체의 제조방법.

제13항에 있어서,상기 상부 및 하부 회로패드의 압저항센서는 상기 외팔보 상부 및 하부에 한 쌍씩 형성되는 것을 특징으로 하는 캔틸레버 구조체의 제조방법.