| 번호 | 청구항 |
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| 1 | 전도성 잉크를 준비하는 단계; 및상기 준비한 전도성 잉크를 기판 상에 토출하여 계층형 돔 구조 형태의 압력센서를 형성하는 단계를 포함하되,상기 준비된 전도성 잉크의 점도 및 상기 기판의 온도를 조절하여 상기 전도성 잉크의 흐름을 제어할 수 있는 것을 특징으로 하는 압력센서 제조방법. |
| 2 | 제1항에 있어서, 상기 전도성 잉크를 준비하는 단계는, 카본블랙, P3HT, 및 클로로폼을 포함하는 용액을 준비하는 단계; 상기 준비된 용액을 초음파처리하여 분산시키는 단계; 및상기 분산시킨 용액과 PDMS A 및 PDMS B를 포함하는 용액을 혼합하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 압력센서 제조방법. |
| 3 | 제2항에 있어서, 상기 카본블랙, P3HT, 및 클로로폼을 포함하는 용액을 준비하는 단계는,상기 클로로폼의 양을 조절하여 상기 전도성 잉크의 점도를 조절하는 것을 특징으로 하는 압력센서 제조방법. |
| 4 | 제2항에 있어서, 상기 PDMS A 및 PDMS B를 포함하는 용액은,상기 PDMS A 및 PDMS B가 9:1내지 8:1의 질량비를 가지는 것을 특징으로 하는 압력센서 제조방법. |
| 5 | 제1항에 있어서, 상기 전도성 잉크는 450cP 내지 1400cP의 점도 범위를 가지도록 조절되는 것을 특징으로 하는 압력센서 제조방법. |
| 6 | 제1항에 있어서, 상기 기판의 온도는 20℃ 내지 150℃의 온도 범위를 가지도록 조절되는 것을 특징으로 하는 압력센서 제조방법. |
| 7 | 제1항에 있어서, 상기 계층형 돔 구조는,중앙에 위치하는 제1 돔과, 상기 제1 돔의 표면에 존재하는 하나 이상의 제2 돔들로 구성된 것으로,상기 중앙에 위치하는 제1 돔의 직경은 10 mm 이하가 되고,상기 제1 돔의 표면에 존재하는 제2 돔의 직경은 1.5 mm이하가 되도록 하는 것을 특징으로 하는 압력센서 제조방법. |
| 8 | 제1항에 있어서, 상기 전도성 잉크를 기판 상에 토출하여 계층형 돔 구조 형태의 압력센서를 형성하는 단계는,상기 토출이 상기 계층형 돔 구조 하나당 100ms 이내로 이루어지는 것을 특징으로 하는 압력센서 제조방법. |
| 9 | 제1항에 있어서, 상기 전도성 잉크의 흐름은 마랑고니 흐름인 것을 특징으로 하는 압력센서 제조방법. |
| 10 | 제1항의 제조방법으로 제조된 압력센서로서,중앙에 위치하는 제1 돔과, 상기 제1돔의 표면에 존재하는 하나 이상의 제2 돔들로 구성된 계층형 돔 구조를 가지는 것을 특징으로 하는 압력센서. |
| 11 | 제10항에 있어서,상기 중앙에 위치하는 제1 돔의 직경은 10 mm 이하이고,상기 제1 돔의 표면에 존재하는 제2 돔의 직경은 1.5 mm이하인 것을 특징으로 하는 압력센서. |
| 12 | 제10항에 있어서, 상기 압력센서는 0Pa 내지 16000Pa의 전체 압력 범위에서 압력을 감지할 수 있는 것을 특징으로 하는 압력센서. |
| 13 | 제10항에 있어서, 상기 압력센서는 50ms 이하의 감지 속도를 가지는 것을 특징으로 하는 압력센서. |
| 14 | 제10항에 있어서, 상기 압력센서는 최대 40%의 신축 상황에서도 압력 감지가 가능한 것을 특징으로 하는 압력센서. |