내부에 제1유체 및 제2유체가 충진되는 압력 챔버부;입력 변위를 생성하여 상기 압력 챔버부의 압력 값을 가변시키는 입력부;상기 압력 챔버부의 압력 변화에 연동되어 출력 변위를 생성하는 출력부;상기 입력부로부터 생성되는 상기 입력 변위와, 상기 출력부로부터 생성되는 상기 출력 변위를 측정하는 측정부; 및상기 측정부로부터 측정된 값을 통해 상기 출력부의 출력 힘을 산출하고, 산출된 상기 출력 힘을 바탕으로 상기 입력부의 동작을 피드백 제어하는 제어부;를 포함하고,상기 제어부는 하기 수학식 1을 통해 상기 출력 힘을 산출하는 것을 특징으로 하는 액추에이터 장치.[수학식 1] 여기서,은 출력 힘, 는 제2피스톤부의 질량, 은 제2피스톤부의 가속도, 는 압력 챔버부의 초기 압력, 는 입력 변위, 는 출력 변위, 은 제1피스톤부 일측의 단면적, 는 제2피스톤부 일측의 단면적, 은 제2피스톤부 타측의 단면적을 의미한다.

제 1항에 있어서,상기 입력부는,상기 압력 챔버부와 연통되는 제1실린더부;상기 제1실린더부에 이동 가능하게 설치되는 제1피스톤부; 및상기 제1피스톤부에 외력을 가해 상기 제1피스톤부를 이동시키는 변위입력부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 액추에이터 장치.

제 2항에 있어서,상기 입력 변위는 상기 제1피스톤부가 상기 제1실린더부의 내부에서 이동된 거리인 것을 특징으로 하는 액추에이터 장치.

제 2항에 있어서,상기 입력부는,상기 제1실린더부의 내부를 외부와 연통시키는 제1포트;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 액추에이터 장치.

제 1항에 있어서,상기 출력부는,상기 압력 챔버부와 연통되는 제2실린더부; 및상기 제2실린더부에 이동 가능하게 설치되고, 상기 압력 챔버부의 압력 변화에 연동되어 이동되는 제2피스톤부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 액추에이터 장치.

제 5항에 있어서,상기 출력 변위는 상기 제2피스톤부가 상기 제2실린더부의 내부에서 이동된 거리인 것을 특징으로 하는 액추에이터 장치.

제 5항에 있어서,상기 출력부는,상기 제2실린더부의 내부를 외부와 연통시키는 제2포트;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 액추에이터 장치.

제 1항에 있어서,상기 압력 챔버부는,상기 입력부 및 상기 출력부의 사이에 구비되는 압력 챔버; 및상기 압력 챔버의 내부로 상기 제1유체 및 상기 제2유체를 공급하거나 배출하는 제3포트;를 포함하는 것을 특징으로 하는 액추에이터 장치.

제 8항에 있어서,상기 압력 챔버는,상기 입력부와 연통되는 제1챔버;상기 출력부와 연통되는 제2챔버; 및상기 제1챔버와 상기 제2챔버를 연결시키고, 상기 제3포트와 연통되는 연결부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 액추에이터 장치.

제 1항에 있어서,상기 제어부는 산출된 상기 출력 힘이 기설정된 상기 출력 힘과 일치되도록 상기 입력부의 입력 변위를 조절하는 것을 특징으로 하는 액추에이터 장치.

압력 챔버에 충진되는 제1유체 및 제2유체의 비율을 조정하는 단계;입력부를 동작시켜 입력 변위와 출력 변위를 생성하는 단계;상기 입력 변위와 상기 출력 변위를 통해 출력부의 출력 힘을 산출하는 단계; 및산출된 상기 출력 힘을 바탕으로 상기 입력부의 동작을 피드백 제어하는 단계;를 포함하고,상기 산출하는 단계는 하기 수학식 1을 통해 상기 출력 힘을 산출하는 것을 특징으로 하는 액추에이터 장치의 제어방법.[수학식 1] 여기서,은 출력 힘, 는 제2피스톤부의 질량, 은 제2피스톤부의 가속도, 는 압력 챔버부의 초기 압력, 는 입력 변위, 는 출력 변위, 은 제1피스톤부 일측의 단면적, 는 제2피스톤부 일측의 단면적, 은 제2피스톤부 타측의 단면적을 의미한다.

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제 11항에 있어서,상기 제어하는 단계는,산출된 상기 출력 힘과 기설정된 상기 출력 힘의 일치 여부를 판단하는 단계; 및산출된 상기 출력 힘과 기설정된 상기 출력 힘이 일치하지 않는 경우, 상기 입력부를 동작시켜 상기 입력 변위와 상기 출력 변위를 가변시키는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 액추에이터 장치의 제어방법.