이차원 전자가스가 형성된 전자화물 및 이차원 전자가스의 형성 방법
ELECTRIDE WITH TWO-DIMENTIONAL ELECTRON GAS AND MENUFACTURING METHOD OF TWO-DIMENTIONAL ELECTRON GAS
특허 요약
본 발명은 이차원 전자가스가 표면에 형성된 전자화물에 관한 것이다. 본 발명의 이차원 전자가스가 표면에 형성된 전자화물은 기존의 액체 표면에 형성된 비실용적인 이차원 전자가스와는 달리, 고체 전자화물 표면에 이차원 전자가스가 형성되어 우수한 도체 또는 반도체 특성을 나타내며, 전자 소자 및 자성 소자 등에 응용이 가능하다.
청구항
번호청구항
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제 1항에 있어서,상기 이차원 전자가스의 전자 농도는 1010 cm-2 내지 1016 cm-2인 것을 특징으로 하는 이차원 전자가스 형성 전자화물.

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삭제

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제 1항에 있어서, 상기 불활성 가스가 헬륨, 아르곤, 네온, 크립톤, 제논 및 질소 중에서 선택된 1종 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 이차원 전자가스 형성 전자화물.

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제 1항에 있어서,상기 고진공 상태는 10-5 Torr 내지 10-11 Torr의 진공도인 것을 특징으로 하는 이차원 전자가스 형성 전자화물.

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하기 화학식 1 내지 3 중 어느 하나로 표시되는 전자화물 및 표면에 이차원 전자가스를 포함하고,상기 이차원 전자가스가 1 K 내지 100 K 온도의 불활성 가스 분위기 또는 고진공 분위기 하에서 존재하는 것인,이차원 전자가스 형성 전자화물.003c#화학식 1003e#X2C화학식 1에 있어서, X는 Gd, Sc, Y, Dy, Ho, Ce, Er 또는 Tb이고,003c#화학식 2003e#Y2N화학식 2에 있어서,Y는 Ca, Sr 또는 Ba이고,003c#화학식 3003e#ZCl화학식 3에 있어서,Z는 Y, La, Zr 또는 Hf이다.

2

제 1항에 있어서, 상기 전자화물은 단결정, 다결정 또는 박막인 것을 특징으로 하는 이차원 전자가스 형성 전자화물.

3

제 1항에 있어서, 상기 전자화물이 층상구조이고, 층간에 이차원으로 배열되어 있는 격자 간 전자를 포함하는 것을 특징으로 하는 이차원 전자가스 형성 전자화물.

4

제 1항에 있어서, 상기 이차원 전자가스는 페르미 레벨(Fermi level) 근처에서 포물선 형태의 에너지 밴드를 갖는 것을 특징으로 하는 이차원 전자가스 형성 전자화물.

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(a) 하기 화학식 1 내지 3 중 어느 하나로 표시되는 전자화물을 준비하는 단계; 및 (b) 1 K 내지 100 K 온도의 불활성 가스 분위기 또는 고진공 분위기 하에서 상기 전자화물의 표면을 클리빙하는 단계;를 포함하는 이차원 전자가스의 형성 방법. 003c#화학식 1003e#X2C화학식 1에 있어서, X는 Gd, Sc, Y, Dy, Ho, Ce, Er 또는 Tb이고,003c#화학식 2003e#Y2N화학식 2에 있어서,Y는 Ca, Sr 또는 Ba이고,003c#화학식 3003e#ZCl화학식 3에 있어서,Z는 Y, La, Zr 또는 Hf이다.

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삭제

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제 10항에 있어서,상기 불활성 가스가 헬륨, 아르곤, 네온, 크립톤, 제논 및 질소 중에서 선택된 1종 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 이차원 전자가스의 형성 방법.

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제 10항에 있어서,상기 고진공 상태는 10-5 Torr 내지 10-11 Torr의 진공도인 것을 특징으로 하는 이차원 전자가스의 형성 방법.

14

제 1항의 이차원 전자가스 형성 전자화물을 포함하는 전자소자.

15

제 1항의 이차원 전자가스 형성 전자화물을 포함하는 자성소자.

16

제 1항의 이차원 전자가스 형성 전자화물을 포함하는 광학소자.