| 번호 | 청구항 |
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| 1 | 기판에 금속 전구체를 로딩하는 단계;상기 기판에 칼코겐 전구체를 제공하는 단계; 및상기 칼코겐 전구체를 상기 금속 전구체와 반응시키는 단계를 포함하며,상기 금속 전구체는 전이금속 나노입자를 포함하고,상기 기판에 칼코겐 전구체를 제공하는 단계는,상기 기판 및 상기 칼코겐 전구체를 퍼니스에 배치하는 단계, 및 상기 퍼니스에 캐리어 가스를 제공하는 단계를 포함하고,상기 칼코겐 전구체는 상기 캐리어 가스에 의해 상기 기판으로 공급되는 것을 특징으로 하는 화합물 구조체의 형성 방법. |
| 2 | 제 1 항에 있어서,상기 칼코겐 전구체는 황, 셀레늄, 및 텔루륨 중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 화합물 구조체의 형성 방법. |
| 3 | 제 1 항에 있어서,상기 전이금속 나노입자는 MoO2 나노입자 및 W18O49 나노입자 중에서 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 화합물 구조체의 형성 방법. |
| 4 | 제 1 항에 있어서,상기 기판에 상기 금속 전구체를 로딩하는 단계는,상기 전이금속 나노입자를 포함하는 전구체 용액을 형성하는 단계, 및상기 전구체 용액을 상기 기판에 스핀 코팅하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 화합물 구조체의 형성 방법. |
| 5 | 제 4 항에 있어서,상기 전구체 용액을 형성하는 단계는, 상기 전구체 용액에 촉매 물질을 첨가하는 단계를 포함하고,상기 촉매 물질은 염화나트륨 및 수산화칼륨 중에서 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 화합물 구조체의 형성 방법. |
| 6 | 제 1 항에 있어서,상기 화합물 구조체는 CVD 공정을 수행하는 것에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 화합물 구조체의 형성 방법. |
| 7 | 제 1 항에 있어서,상기 퍼니스는 서로 독립적으로 가열되는 제1 퍼니스 및 제2 퍼니스를 포함하고,상기 칼코겐 전구체는 상기 제1 퍼니스에 배치되고,상기 기판은 상기 제2 퍼니스에 배치되며,상기 캐리어 가스는 상기 제1 퍼니스에서 상기 제2 퍼니스로 흐르는 것을 특징으로 하는 화합물 구조체의 형성 방법. |
| 8 | 제 7 항에 있어서,상기 제2 퍼니스의 가열 온도는 상기 제1 퍼니스의 가열 온도보다 높은 것을 특징으로 하는 화합물 구조체의 형성 방법. |
| 9 | 제 7 항에 있어서,상기 기판은 상기 캐리어 가스의 흐름 방향에 대하여 기울어진 것을 특징으로 하는 화합물 구조체의 형성 방법. |
| 10 | 제 1 항 내지 제 9 항 중 어느 한 항의 방법에 의해 형성되고, 2차원 구조를 갖는 것을 특징으로 하는 화합물 구조체. |
| 11 | 제 10 항에 있어서,상기 화합물 구조체는 원자 수준의 두께를 갖는 것을 특징으로 하는 화합물 구조체. |
| 12 | 제 10 항에 있어서,상기 화합물 구조체는 단층 구조를 갖는 것을 특징으로 하는 화합물 구조체. |
| 13 | 제 10 항에 있어서,상기 화합물 구조체는 전이금속 칼코겐 화합물을 포함하는 것을 특징으로 하는 화합물 구조체. |
