알루미늄(Al)을 0.5 내지 2.0 at.% 함유하고,잔부가 구리(Cu) 및 불가피한 불순물로 구성되며,합금의 결정립계는 쌍정계(twin-boundary)인 것을 특징으로 하고,1.5% 변형률로 10만 번 피로 변형 이후의 전기저항 증가율이 3 내지 10%인, 전자소자 배선용 구리-알루미늄 합금.

제 1 항에 있어서,상기 구리-알루미늄 합금은 피로 변형 중에 결정립 미세화되는 것인, 전자소자 배선용 구리-알루미늄 합금.

제 2 항에 있어서,상기 피로 변형 중의 구리-알루미늄 합금의 결정립 크기는 1 내지 80 nm인, 전자소자 배선용 구리-알루미늄 합금.

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알루미늄(Al)을 0.5 내지 2.0 at.% 함유하고, 잔부가 구리(Cu) 및 불가피한 불순물을 포함하는 금속 재료를 준비하는 단계; 및상기 준비된 금속 재료로 합금을 제조하는 단계;를 포함하고,상기 제조된 합금의 결정립계는 쌍정계인 것을 특징으로 하고,1.5% 변형률로 10만 번 피로 변형 이후의 전기저항 증가율이 3 내지 10%인, 전자 배선용 구리-알루미늄 합금의 제조 방법.

제 5 항에 있어서,상기 합금을 제조하는 방법은 DC 스퍼터링법, RF 스퍼터링법, 마그네트론 스퍼터링법 및 반응성 스퍼터링법으로 이루어진 군으로부터 선택된 어느 하나의 스퍼터링법에 따라 수행되는 것인, 전자소자 배선용 구리-알루미늄 합금의 제조 방법.

제 6 항에 있어서,상기 스퍼터링법은 10 내지 500 W의 전력으로 수행되는 것인, 전자소자 배선용 구리-알루미늄 합금의 제조 방법.

제 5 항에 있어서,상기 제조 방법은 상기 제조된 합금을 가공하는 단계를 더 포함하고, 상기 가공은 열간 가공(hot working), 압연(rolling), 압출(drawing) 및 상온 가공으로 이루어진 군으로부터 선택된 어느 하나 이상의 방법을 통해 수행되는 것인, 전자소자 배선용 구리-알루미늄 합금의 제조 방법.