윈도우 홀을 갖는 기판;상기 기판 위에 배치되고, 분석 대상을 수용하여 고정시키는 샘플 고정 홀을 갖는 제1 패턴; 및상기 윈도우 홀 내 상기 제1 패턴 아래에 배치되는 윈도우 층을 포함하고,상기 제1 패턴의 상기 샘플 고정 홀은 상기 윈도우 층 위에 배치되는 것을 특징으로 하는 샘플 고정용 장치.

제 1 항에 있어서,상기 샘플 고정 홀의 깊이는 상기 제1 패턴의 두께를 조절하는 것에 의해 조절되는 것을 특징으로 하는 샘플 고정용 장치.

제 1 항에 있어서,상기 샘플 고정 홀은 복수개 배치되는 것을 특징으로 하는 샘플 고정용 장치.

제 1 항에 있어서,상기 윈도우 층은 그래핀 산화물, 그래핀, 황화몰리브덴(MoS2) 중에서 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 샘플 고정용 장치.

제 1 항에 있어서,상기 기판 아래에 배치되는 제2 패턴을 더 포함하고,상기 제2 패턴에 의해 상기 윈도우 홀이 노출되는 것을 특징으로 하는 샘플 고정용 장치.

제 5 항에 있어서,상기 기판은 실리콘 기판을 포함하고,상기 제1 패턴 및 상기 제2 패턴은 실리콘 질화물, 실리콘 산화물, 및 알루미늄 산화물 중에서 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 샘플 고정용 장치.

제1 면과 제2 면을 갖는 기판을 준비하는 단계;상기 제1 면에 제1 층을 형성하고, 상기 제2 면에 제2 층을 형성하는 단계;상기 제2 층을 패터닝하여 제2 패턴을 형성하는 단계;상기 제2 패턴을 에칭 마스크로 사용하여 상기 기판을 에칭하여 상기 제1 층을 노출하는 윈도우 홀을 형성하는 단계;상기 제1 층을 패터닝하여 샘플 고정 홀을 갖는 제1 패턴을 형성하는 단계;상기 윈도우 홀 내에 상기 제1 패턴과 접촉하는 윈도우 층을 형성하는 단계를 포함하고,상기 제1 패턴의 상기 샘플 고정 홀은 상기 윈도우 홀에 대응하는 위치에 형성되는 것을 특징으로 하는 샘플 고정용 장치의 제조 방법.

제 7 항에 있어서,상기 제1 층 및 상기 제2 층은 동시에 형성되는 것을 특징으로 하는 샘플 고정용 장치의 제조 방법.

제 7 항에 있어서,상기 기판은 실리콘 기판을 포함하고,상기 제1 층 및 상기 제2 층은 실리콘 질화물, 실리콘 산화물, 및 알루미늄 산화물 중에서 적어도 하나로 형성되는 것을 특징으로 하는 샘플 고정용 장치의 제조 방법.

제 7 항에 있어서,상기 윈도우 층은 그래핀 산화물, 그래핀, 황화몰리브덴(MoS2) 중에서 적어도 하나로 형성되는 것을 특징으로 하는 샘플 고정용 장치의 제조 방법.

제 7 항에 있어서,상기 샘플 고정 홀의 깊이는 상기 제1 층의 두께를 조절하는 것에 의해 조절되는 것을 특징으로 하는 샘플 고정용 장치의 제조 방법.

제 7 항에 있어서,상기 샘플 고정 홀은 복수개 형성되는 것을 특징으로 하는 샘플 고정용 장치의 제조 방법.