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제1 항에 있어서,상기 결합시키는 단계는, 상기 결합력 제공체를 휘발시킨 후 상기 지지층을 제거하는 단계를 더 포함하는, 전자현미경을 이용한 액상 시료 관찰 방법.

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전자빔을 투과하는 이차원 물질로 이루어진 하부 막을 준비하는 단계;나노포어(nanopore)가 형성된 다공성 중간판을 준비하는 단계;상기 하부 막과 상기 다공성 중간판 사이의 적층 계면에 결합력 제공체를 도포하는 단계; 상기 결합력 제공체를 휘발시켜, 상기 하부 막과 상기 다공성 중간판을 결합시키는 단계;액상 시료를 상기 나노포어에 제공하는 단계; 및 상기 다공성 중간판 상에 상부 막을 적층하는 단계;를 포함하되,상기 다공성 중간판을 준비하는 단계는, 알루미늄을 준비하는 단계;상기 알루미늄에 양극 산화 공정을 수행하여, 자기 조립된 적어도 하나 이상의 나노포어를 포함하는 양극 산화 알루미늄을 제조하는 단계; 및 상기 양극 산화 알루미늄 상에, 상기 양극 산화 알루미늄을 지지하는 지지층을 제공하는 단계;를 포함하되, 상기 양극 산화 알루미늄을 제조하는 단계는, 상기 양극 산화 공정을 통해 지름 직경 및 높이가 균일한 나노포어가 규칙적으로 분포되는 것을 포함하는, 전자현미경을 이용한 액상 시료 관찰 방법.

전자빔을 투과하는 이차원 물질로 이루어진 하부 막을 준비하는 단계;나노포어(nanopore)가 형성된 SiNx 다공성 중간판을 준비하는 단계;상기 하부 막과 상기 SiNx 다공성 중간판 사이의 적층 계면에 결합력 제공체를 도포하는 단계;상기 결합력 제공체를 휘발시켜, 상기 하부 막과 상기 SiNx 다공성 중간판을 결합시키는 단계;액상 시료를 상기 나노포어에 제공하는 단계; 및상기 SiNx 다공성 중간판 상에 상부 막을 적층하는 단계;를 포함하되,상기 SiNx 다공성 중간판을 준비하는 단계는,Si를 포함하는 베이스층을 준비하는 단계;상기 베이스층 상에, 예비 중간판을 형성하는 단계;나노포어가 형성된 전사판을 준비하는 단계;상기 예비 중간판 상에, 상기 전사판을 전사하는 단계; 및상기 전사판의 나노포어 형상을 따라, 상기 예비 중간판에 나노포어를 형성하는 단계;를 포함하되,상기 베이스층을 준비하는 단계는,상기 베이스층에 희생층을 형성하는 단계를 더 포함하고,상기 나노포어를 형성하는 단계는,상기 예비 중간판에 나노포어를 형성한 후에, 상기 희생층 및 상기 베이스층 중에서 적어도 어느 하나의 식각을 위한 통로를 형성하는 단계를 더 포함하는, 전자현미경을 이용한 액상 시료 관찰 방법.

전자빔을 투과하는 이차원 물질로 이루어진 하부 막을 준비하는 단계;나노포어(nanopore)가 형성된 Si 다공성 중간판을 준비하는 단계;상기 하부 막과 상기 Si 다공성 중간판 사이의 적층 계면에 결합력 제공체를 도포하는 단계;상기 결합력 제공체를 휘발시켜, 상기 하부 막과 상기 Si 다공성 중간판을 결합시키는 단계;액상 시료를 상기 나노포어에 제공하는 단계; 및상기 Si 다공성 중간판 상에 상부 막을 적층하는 단계;를 포함하되,상기 Si 다공성 중간판을 준비하는 단계는,SOI(silicon on insulator) 를 포함하는 베이스층을 준비하는 단계;상기 베이스층 상에, 예비 중간판을 형성하는 단계;나노포어가 형성된 전사판을 준비하는 단계;상기 예비 중간판 상에, 상기 전사판을 전사하는 단계; 및상기 전사판의 나노포어 형상을 따라, 상기 예비 중간판에 나노포어를 형성하는 단계;를 포함하되,상기 베이스층을 준비하는 단계는,희생층을 포함하는 상기 베이스층을 준비하는 단계를 포함하고,상기 나노포어를 형성하는 단계는,상기 예비 중간판에 나노포어를 형성한 후에, 상기 희생층 및 상기 베이스층 중에서 적어도 어느 하나의 식각을 위한 통로를 형성하는 단계를 더 포함하는, 전자현미경을 이용한 액상 시료 관찰 방법.

제1 항 내지 제3 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 상부 막은, 전자빔을 투과하는 이차원 물질인, 전자현미경을 이용한 액상 시료 관찰 방법.

제1 항 내지 제3 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 상부 막을 적층하는 단계 이후에, 상기 액상 시료를 향하여 전자빔을 투과시키는 단계를 더 포함하는, 전자현미경을 이용한 액상 시료 관찰 방법.

제5 항에 있어서,상기 전자빔을 투과시키는 단계는, 진공 환경에서 수행되는, 전자현미경을 이용한 액상 시료 관찰 방법.

제1 항 내지 제3 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 결합시키는 단계에서, 상기 결합력 제공체가 휘발하면서 반데르발스 힘(Van der Waals force)에 의해, 상기 하부 막과 상기 다공성 중간판이 결합되는, 전자현미경을 이용한 액상 시료 관찰 방법.

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