| 번호 | 청구항 |
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| 1 | 폴리다이메틸실록산 고분자막의 일면 또는 양면에 마이크로 구조가 형성되어 있고, 상기 마이크로 구조 표면의 적어도 일부에 플라즈마 에칭에 의해 형성된 불균일한 형태의 나노주름이 형성되어 있는 혼성(hybrid)구조 패턴을 포함하는 고분자막으로 이루어져 있으며,상기 고분자막은 별도의 접착제 없이도 유리 기판에 대하여 탈부착 가능한 것인 소수성 반사방지막. |
| 2 | 제 1 항에 있어서, 상기 나노 구조는 마이크로 구조의 전체적인 형상에 영향을 미치지 않는 수준의 크기를 갖는 것인 소수성 반사방지막. |
| 3 | 제 1 항에 있어서, 상기 마이크로 구조는 마이크로 다각뿔, 절단된 마이크로 다각뿔, 마이크로 원기둥, 마이크로 반구, 마이크로 원뿔 및 절단된 마이크로 원뿔로 이루어지는 그룹으로부터 선택되는 하나 이상인 소수성 반사방지막. |
| 4 | 삭제 |
| 5 | 제 1 항에 있어서, 상기 고분자막은 굴절률(n)이 1003c#n003c#1.53인 것인, 소수성 반사방지막. |
| 6 | 제 1 항에 있어서, 상기 마이크로 구조는 너비가 10㎛ 내지 30㎛이고, 높이가 1 ㎛ 내지 50㎛인 소수성 반사방지막. |
| 7 | 제 1 항에 있어서, 상기 고분자 막은 접촉각이 150°이상, 롤오프각은 10° 이하인 것인 소수성 반사방지막. |
| 8 | 삭제 |
| 9 | 삭제 |
| 10 | 일면 또는 양면에 마이크로 구조를 갖는 폴리다이메틸실록산 고분자막에 플라즈마를 발생시켜 에칭함으로써 상기 마이크로 구조 표면에 불균일한 형태의 나노주름을 형성하는 단계를 포함하며, 상기 고분자막은 별도의 접착제 없이도 유리 기판에 대하여 탈부착 가능한 것인 제 1 항의 소수성 반사방지막 제조 방법. |
| 11 | 제 10 항에 있어서, 상기 에칭은 아르곤, 산소, 질소, 수분, 헬륨, 탄화불소, 탄화염소로 이루어지는 그룹으로부터 선택되는 하나 이상의 반응가스가 부가되어 활성화되는 것인 소수성 반사방지막 제조방법. |
| 12 | 삭제 |
| 13 | 제 1 항의 소수성 반사방지막을 포함하는 태양전지. |
