| 번호 | 청구항 |
|---|---|
| 1 | 수차를 야기하는 샘플 내의 타겟 오브젝트를 이미징하기 위한 초점 스캔 방식의 이미징 장치에 있어서,빔을 조사하는 광원부와,상기 광원부로부터 조사된 빔을 샘플파와 참조파로 분할하고, 상기 샘플파가 상기 샘플로부터 반사된 반사파와 상기 참조파 간의 간섭파를 형성하는 광학 간섭계와,상기 간섭파를 촬영하는 카메라 모듈과,상기 광학 간섭계의 상기 샘플파의 광 경로 상에 배치되어, 상기 샘플파가 상기 샘플을 스캔하도록 상기 샘플파를 반사시키는 스캐닝 미러와,상기 광학 간섭계의 상기 샘플파의 광 경로 상에 배치되는 파면 형상 변조기와,샘플 야기 수차의 보정을 위한 수차 보정 위상 맵을 산출하는 위상 맵 산출 모드와, 상기 수차 보정 위상 맵이 상기 파면 형상 변조기에 표시되어 상기 샘플 야기 수차가 보정된 상태로 상기 타겟 오브젝트를 이미징하는 이미징 모드로 동작하는 이미징 제어부를 포함하고;상기 이미징 제어부는상기 위상 맵 산출 모드에서 상기 파면 형상 변조기가 미러로 동작하도록 제어하고, 상기 수차 보정 위상 맵을 산출하고;상기 이미징 제어부는 상기 위상 맵 산출 모드에서,상기 샘플파가 상기 샘플을 초점 스캐닝하도록 상기 스캐닝 미러를 제어하는 단계와,초점 스캐닝을 통해 상기 샘플의 각 포인트에 대한 상기 카메라 모듈에 의해 촬영된 각각의 간섭파에 기초하여, 복수의 시분해 복소장 이미지를 획득하는 단계와,복수의 상기 시분해 복소장 이미지를 이용하여, 위치 기저의 시분해 반사 행렬을 생성하는 단계와,상기 위치 기저의 상기 시분해 반사 행렬을 공간 주파수 기저의 시분해 반사 행렬로 변환하는 단계와,상기 공간 주파수 기저의 상기 시분해 반사 행렬에 기초하여, 상기 샘플 야기 수차의 수차 위상 맵을 추출하는 단계를 수행하고;상기 이미징 제어부는 상기 수차 위상 맵의 위상 공액(Phase conjugation)을 통해 상기 수차 보정 위상 맵을 산출하며;상기 수차 위상 맵을 추출하는 단계에서는 기 공지된 CLASS 알고리즘에서의 수차 보정을 위해 획득되는 샘플파의 복소 동공 함수와 반사파의 복소 동공 함수 중 어느 하나가 상기 수차 위상 맵으로 추출되는 것을 특징으로 하는 수차를 야기하는 샘플 내의 타겟 오브젝트를 이미징하기 위한 초점 스캔 방식의 이미징 장치. |
| 2 | 삭제 |
| 3 | 제1항에 있어서,상기 위치 기저의 상기 시분해 반사 행렬을 생성하는 단계에서는각각의 상기 시분해 복소장 이미지가 하나의 벡터로 상기 위치 기저의 상기 시분해 반사 행렬의 각 열에 할당되어 생성되는 것을 특징으로 하는 수차를 야기하는 샘플 내의 타겟 오브젝트를 이미징하기 위한 초점 스캔 방식의 이미징 장치. |
| 4 | 제1항에 있어서,상기 공간 주파수 기저의 상기 시분해 반사 행렬로 변환하는 단계에서는상기 위치 기저의 상기 시분해 반사 행렬을 구성하는 각각의 행 벡터 및 열 벡터에 푸리에 변환이 적용되어 상기 공간 주파수 기저의 상기 시분해 반사 행렬로 변환되는 것을 특징으로 하는 수차를 야기하는 샘플 내의 타겟 오브젝트를 이미징하기 위한 초점 스캔 방식의 이미징 장치. |
| 5 | 삭제 |
