| 번호 | 청구항 |
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| 1 | 무기물 나노 구조체;상기 무기물 나노 구조체에 초점이 맺히도록 나노 규모 전자빔을 조사하는 초점 전자빔 조사부; 및상기 무기물 나노 구조체의 나노 규모의 광학적 물성을 부분적으로 변화시키기 위해 상기 나노 규모 전자빔의 조사 위치를 제어하는 초점 전자빔 제어부;를 포함하는 초점 전자빔을 이용한 무기물 나노 구조체의 물성 변화 장치. |
| 2 | 제 1항에 있어서,상기 무기물 나노 구조체는 나노선 또는 나노 박막인 것을 특징으로 하는 초점 전자빔을 이용한 무기물 나노 구조체의 물성 변화 장치. |
| 3 | 제 1항에 있어서,상기 무기물 나노 구조체는 티타늄 디옥사이드(TiO2) 또는 징크 옥사이드(ZnO) 또는 실리콘 디옥사이드(SiO2)로 형성된 것을 특징으로 하는 초점 전자빔을 이용한 무기물 나노 구조체의 물성 변화 장치. |
| 4 | 제 1항에 있어서,상기 초점 전자빔 조사부는 주사전자 현미경, 투과전자 현미경 및 전자빔 리소그래피 장치 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 초점 전자빔을 이용한 무기물 나노 구조체의 물성 변화 장치. |
| 5 | 제 1항에 있어서,상기 전자빔의 직경은 0 을 초과하고 1000 nm 이하로 초점화된 것을 특징으로 하는 초점 전자빔을 이용한 무기물 나노 구조체의 물성 변화 장치. |
| 6 | 삭제 |
| 7 | 제 1항에 있어서,상기 무기물 나노 구조체는 나노선이고,상기 초점 전자빔 제어부는 상기 나노선을 따라 교대로 상기 전자빔이 조사되는 부분과 조사되지 않는 부분이 형성되도록 상기 조사 위치를 제어하는 것을 특징으로 하는 초점 전자빔을 이용한 무기물 나노 구조체의 물성 변화 장치. |
| 8 | 제 1항에 있어서,상기 무기물 나노 구조체는 나노 박막이고,상기 초점 전자빔 제어부는 상기 나노 박막에 상기 전자빔이 조사되어 2차원 패턴을 형성하도록 상기 조사 위치를 제어하는 것을 특징으로 하는 초점 전자빔을 이용한 무기물 나노 구조체의 물성 변화 장치. |
| 9 | 기판상에 무기물 나노 구조체가 제공되는 단계(S10);초점 전자빔 조사부가 상기 무기물 나노 구조체에 초점이 맺히도록 나노 규모 전자빔을 조사하는 단계(S20); 및초점 전자빔 제어부가 상기 무기물 나노 구조체의 부분적인 나노 규모의 광학적 물성 변화에 대응하는 1 차원 또는 2 차원의 패턴을 형성하기 위해 상기 나노 규모 전자빔의 조사 위치를 제어하는 단계(S30);를 포함하는 초점 전자빔을 이용한 무기물 나노 구조체의 물성 변화 방법. |
| 10 | 삭제 |
| 11 | 제 9항에 있어서,상기 나노 규모 전자빔의 조사 위치 제어단계(S30)에서,상기 무기물 나노 구조체는 나노선이고, 상기 초점 전자빔 제어부는 상기 나노선을 따라 교대로 상기 전자빔이 조사되는 부분과 조사되지 않는 부분으로 형성된 상기 1 차원 패턴을 형성하도록 상기 조사 위치를 제어하는 것을 특징으로 하는 초점 전자빔을 이용한 무기물 나노 구조체의 물성 변화 방법. |
| 12 | 제 9항에 있어서,상기 나노 규모 전자빔의 조사 위치 제어단계(S30)에서,상기 무기물 나노 구조체는 나노 박막이고, 상기 초점 전자빔 제어부는 상기 나노 박막에 상기 전자빔이 조사되어 상기 2차원 패턴을 형성하도록 상기 조사 위치를 제어하는 것을 특징으로 하는 초점 전자빔을 이용한 무기물 나노 구조체의 물성 변화 방법. |
| 13 | 제 9항의 무기물 나노 구조체의 물성 변화 방법에 의해 나노 규모의 광학적 물성이 변화된 무기물 나노 구조체. |
