제3항에서,상기 제1 인쇄 회로 기판 위에 형성되며 상기 전기 분해 펌프를 제어하는 제어부와 상기 전기 분해 전극을 전기적으로 연결하는 제어 연결부를 더 포함하는, 액츄에이터용 가스 생성 장치.

복수의 인쇄 회로 기판을 포함하는 본체;상기 본체에 설치되며 과산화수소 액체를 전기 분해하여 생성된 전기 분해 가스의 압력을 이용하여 상기 과산화수소 액체를 외부로 이송하는 전기 분해 펌프; 그리고 상기 전기 분해 펌프에 인접하여 설치되며 상기 전기 분해 펌프에서 이송된 상기 과산화수소 액체를 복수의 촉매로 분해하여 고압 가스를 생성하는 촉매 베드를 포함하는, 액츄에이터용 가스 생성 장치.

제1항에서,상기 복수의 인쇄 회로 기판은 차례로 적층되는 제1 인쇄 회로 기판, 제2 인쇄 회로 기판, 그리고 제3 인쇄 회로 기판을 포함하는, 액츄에이터용 가스 생성 장치.

제2항에서,상기 전기 분해 펌프는 상기 제1 인쇄 회로 기판의 표면에 형성되며 상기 과산화수소 액체를 전기 분해하는 전기 분해 전극, 그리고상기 전기 분해 전극에 대응하여 상기 제2 인쇄 회로 기판에 형성되며 상기 과산화수소 액체가 채워지는 전기 분해 챔버를 포함하는, 액츄에이터용 가스 생성 장치.

제3항에서,상기 촉매 베드는 상기 제1 인쇄 회로 기판의 표면에 형성되며 상기 과산화수소 액체를 분해하여 상기 고압 가스를 생성하는 상기 복수의 촉매를 포함하는 촉매부, 그리고상기 촉매부에 대응하여 상기 제2 인쇄 회로 기판에 형성되며 상기 고압 가스가 채워지는 가스 챔버를 포함하는, 액츄에이터용 가스 생성 장치.

제4항에서,상기 가스 챔버에 대응하여 상기 제3 인쇄 회로 기판에 형성되며, 상기 고압 가스를 토출하는 가스 토출구를 더 포함하는, 액츄에이터용 가스 생성 장치.

제3항에서,상기 제1 인쇄 회로 기판의 표면에 형성되며 상기 전기 분해 펌프와 상기 촉매 베드를 서로 연결하며 상기 과산화수소 액체가 이송되는 경로를 제공하는 액체 이송 라인을 더 포함하는, 액츄에이터용 가스 생성 장치.

제6항에서,상기 액체 이송 라인은 굴곡되는, 액츄에이터용 가스 생성 장치.