| 번호 | 청구항 |
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| 1 | 페로브스카이트 복합체를 포함하는 반도체층이고,상기 페로브스카이트 복합체는주석(Sn)계 페로브스카이트; 및제1 첨가제 및 제2 첨가제를 포함하는 첨가제;를 포함하고,상기 제1 첨가제는 클로라이드계 화합물(chloride)을 포함하고,상기 제2 첨가제는 요오드계 화합물(iodide)을 포함하고,상기 클로라이드계 화합물이 PbCl2, SnCl2, CsCl, FACl(formamidinium chloride), MACl(methylammonium chloride) 및 PEACl(phenylethylammonium chloride)로 이루어진 군으로부터 선택된 1종 이상을 포함하고,상기 요오드계 화합물이 RbI, KI, NaI 및 LiI로 이루어진 군으로부터 선택된 1종 이상을 포함하는 것인, 반도체층. |
| 2 | 제1항에 있어서,상기 주석계 페로브스카이트가 결정립(grain) 및 이웃하는 결정립 사이에 형성된 결정립 경계(grain boundary)를 포함하고,상기 제1 첨가제 및 제2 첨가제로 이루어진 군으로부터 선택된 1종 이상이 상기 결정립 경계에 위치하는 것을 특징으로 하는 반도체층. |
| 3 | 제1항에 있어서,상기 제1 첨가제 및 제2 첨가제로 이루어진 군으로부터 선택된 1종 이상이 상기 주석계 페로브스카이트에 도핑되는 것을 특징으로 하는 반도체층. |
| 4 | 제1항에 있어서,상기 페로브스카이트 복합체가 주석계 페로브스카이트의 주석 100 mol을 기준으로 상기 첨가제를 0.1 내지 50 mol을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체층. |
| 5 | 삭제 |
| 6 | 삭제 |
| 7 | 삭제 |
| 8 | 제1항에 있어서,상기 제1 첨가제(a)와 상기 제2 첨가제(b)의 몰비(ma:mb, mol:mol)가 10:90 내지 90:10인 것을 특징으로 하는 반도체층. |
| 9 | 제1항에 있어서,상기 주석계 페로브스카이트가 아래 구조식 1로 표시되는 것을 특징으로 하는 반도체층.[구조식 1]A(1-a)(B(1-b)Cb)aSn(X(1-c)Yc)3상기 구조식 1에서,A는 세슘(Cs)이고,B 및 C는 서로 다르고, 각각 독립적으로 메틸암모늄(MA) 또는 포름아미디늄(FA)이고,a는 0≤a≤1의 실수이고,b는 0≤b≤1의 실수이고,X 및 Y는 서로 다르고, 각각 독립적으로 불소(F), 염소(Cl), 브롬(Br) 또는 요오드(I)이고,c는 0≤c≤1의 실수이다. |
| 10 | 제9항에 있어서,상기 주석계 페로브스카이트가 세슘틴트리아이오다이드(Cesium tin triiodide, CsSnI3), 메틸암모늄틴트리아이오다이드(Methylammonium tin triiodide, MASnI3), 포름아미디늄틴트리아이오다이드(Formamidinium tin triiodide, FASnI3) 및 세슘포름아미디늄틴트리아이오다이드(Cesium formamidinium tin triiodide, CsFASnI3)로 이루어진 군으로부터 선택된 1종 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체층. |
| 11 | 제1항에 있어서,상기 페로브스카이트 복합체는 트랜지스터, 태양전지, 발광 다이오드, 포토 다이오드 및 포토센서로 이루어진 군으로부터 선택된 1종 이상의 반도체층에 사용하기 위한 것인 반도체층. |
| 12 | 제1항에 있어서,상기 반도체층의 두께가 1 내지 100 nm인 것을 특징으로 하는 반도체층. |
| 13 | 게이트 전극(100);상기 게이트 전극 상에 위치하는 절연층(200);상기 절연층 상에 위치하고, 페로브스카이트 복합체를 포함하는 반도체층(300); 및상기 반도체층 상에 서로 이격되어 위치하는 소스 전극(400) 및 드레인 전극(500);을 포함하고,상기 페로브스카이트 복합체는주석(Sn)계 페로브스카이트; 및제1 첨가제 및 제2 첨가제를 포함하는 첨가제;를 포함하고,상기 제1 첨가제는 클로라이드계 화합물(chloride)을 포함하고,상기 제2 첨가제는 요오드계 화합물(iodide)을 포함하고,상기 클로라이드계 화합물이 PbCl2, SnCl2, CsCl, FACl(formamidinium chloride), MACl(methylammonium chloride) 및 PEACl(phenylethylammonium chloride)로 이루어진 군으로부터 선택된 1종 이상을 포함하고,상기 요오드계 화합물이 RbI, KI, NaI 및 LiI로 이루어진 군으로부터 선택된 1종 이상을 포함하는 것인, 페로브스카이트 박막 트랜지스터. |
| 14 | (a) 제1 첨가제 및 제2 첨가제를 포함하는 첨가제 및 주석계 페로브스카이트 전구체를 제공하는 단계;(b) 상기 제1 첨가제 및 제2 첨가제를 포함하는 첨가제 및 상기 주석계 페로브스카이트 전구체를 기재 상에 코팅하는 단계; 및(c) 단계(b)의 결과물을 열처리하여 페로브스카이트 복합체를 포함하는 반도체층을 제조하는 단계;를 포함하고,상기 페로브스카이트 복합체는주석(Sn)계 페로브스카이트; 및제1 첨가제 및 제2 첨가제를 포함하는 첨가제;를 포함하고,상기 제1 첨가제는 클로라이드계 화합물(chloride)을 포함하고,상기 제2 첨가제는 요오드계 화합물(iodide)을 포함하고,상기 클로라이드계 화합물이 PbCl2, SnCl2, CsCl, FACl(formamidinium chloride), MACl(methylammonium chloride) 및 PEACl(phenylethylammonium chloride)로 이루어진 군으로부터 선택된 1종 이상을 포함하고,상기 요오드계 화합물이 RbI, KI, NaI 및 LiI로 이루어진 군으로부터 선택된 1종 이상을 포함하는 것인, 반도체층의 제조방법. |
| 15 | 제14항에 있어서,상기 페로브스카이트 복합체가 주석계 페로브스카이트의 주석 100 mol을 기준으로 상기 첨가제를 0.1 내지 50 mol을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체층의 제조방법. |
| 16 | 제14항에 있어서,상기 단계(c)의 열처리가 상온 내지 330 ℃에서 수행되는 것을 특징으로 하는 반도체층의 제조방법. |
| 17 | 제14항에 있어서,상기 단계(b)가 열증착(Thermal Evaporation), 화학 증착(CVD), 원자층 증착(ADL), 스퍼터링, 스핀 코팅, 바코팅, 슬롯코팅, 딥코팅, 스프레이 코팅, 그라비어(Gravure) 잉크젯 코팅, 디스펜싱 코팅, 플렉소그라피, 스크린 및 이들의 조합으로 이루어진 군으로부터 선택된 1종 이상에 의해 수행되는 것을 특징으로 하는 반도체층의 제조방법. |
| 18 | 제14항에 있어서,상기 단계(b)가 열증착에 의해 수행되는 것을 특징으로 하는 반도체층의 제조방법. |
| 19 | 제14항에 있어서,상기 단계(b)가(b-1) 상기 주석계 페로브스카이트 전구체를 기재 상에 코팅하는 단계; 및(b-2) 상기 제1 첨가제를 상기 기재 상에 코팅하는 단계;를 포함하고,상기 단계(b-1) 및 (b-2)가 동시에 수행되거나 또는 따로 수행되는 것을 특징으로 하는 반도체층의 제조방법. |
| 20 | 제19항에 있어서,상기 단계(b)가(b-3) 상기 제2 첨가제를 상기 기재 상에 코팅하는 단계;를 추가로 포함하고,상기 단계(b-1), (b-2) 및 (b-3)이 동시에 수행되거나 또는 따로 수행되는 것을 특징으로 하는 반도체층의 제조방법. |