| 번호 | 청구항 |
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| 1 | 니켈 기반 초내열합금의 감마프라임상을 분석하기 위한 것으로,니켈 기반 초내열합금을 황산(H2SO4), 인산(H3PO4), 및 질산(HNO3)을 포함하는 전해에칭제로 전해에칭하는 단계; 및상기 전해에칭된 합금을 에탄올, 염화구리(CuCl2), 및 염산(H2SO4)을 포함하는 습식에칭제로 습식에칭하여 감마프라임상에 해당하는 결정이 서로 분리되는 단계;을 포함하는, 감마프라임상 분석을 위한 니켈 기반 초내열합금의 에칭 방법. |
| 2 | 제1항에 있어서, 상기 전해에칭제는,상기 황산 100㎖에 대하여 상기 인산 12 내지 38㎖, 및 상기 질산 110 내지 138㎖를 포함하는, 감마프라임상 분석을 위한 니켈 기반 초내열합금의 에칭 방법. |
| 3 | 제1항에 있어서, 상기 습식에칭제는,상기 에탄올 100㎖에 대하여 상기 염화구리 0.1 내지 3㎖, 및 상기 염산 90 내지 110㎖를 포함하는, 감마프라임상 분석을 위한 니켈 기반 초내열합금의 에칭 방법. |
| 4 | 제1항에 있어서, 상기 전해에칭은,5 내지 7V의 전압을 5 내지 60초 동안 인가하여 수행하는, 감마프라임상 분석을 위한 니켈 기반 초내열합금의 에칭 방법. |
| 5 | 제1항에 있어서, 상기 습식에칭은,상기 합금을 상기 습식에칭제에 5 내지 70초 동안 노출시켜 수행하는, 감마프라임상 분석을 위한 니켈 기반 초내열합금의 에칭 방법. |
| 6 | 제1항에 있어서, 상기 니켈 기반 초내열합금은,인코넬(Inconel) 738 및 CM 247 중에서 선택되는 어느 하나 이상인, 감마프라임상 분석을 위한 니켈 기반 초내열합금의 에칭 방법 |