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번호	청구항
1	캐비티(cavity) 내부에 구비되어 일측에 가열 대상물이 배치되는 제1 전극;상기 제1 전극과 이격 구비되어 가열 대상물에 전기장을 방사하는 제2 전극; 및상기 제1 전극 및 상기 제2 전극과 전기적으로 연결되어 RF 신호를 생성하는 RF 제너레이터;를 포함하며,상기 제2 전극은,서로 이격되어 구비되는 복수의 구성 전극으로 형성되며,복수의 상기 구성 전극은,중심부에 위치하는 제1 구성 전극;상기 제1 구성 전극과 중심을 공유하며, 상기 제1 구성 전극으로부터 이격 형성되는 제2 구성 전극; 및상기 제1 구성 전극 및 상기 제2 구성 전극과 중심을 공유하며, 상기 제2 구성 전극으로부터 이격 형성되는 제3 구성 전극;을 포함하며,상기 제1 구성 전극은 원형으로 형성되고,상기 제2 구성 전극은 상기 제1 구성 전극을 포함하도록 환형으로 형성되고,상기 제3 구성 전극은 상기 제2 구성 전극을 포함하도록 환형으로 형성되되,상기 제2 구성 전극의 폭은 상기 제3 구성 전극의 폭에 비해 넓게 형성되고,상기 제1 구성 전극과 상기 제2 구성 전극 사이에는 제1 간격이 형성되고,상기 제2 구성 전극과 상기 제3 구성 전극 사이에는 제2 간격이 형성되되,상기 제2 간격은 상기 제1 간격에 비해 넓게 형성되는 것을 특징으로 하는, RF 에너지를 이용한 가열 장치.
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6	제1항에 있어서,상기 제1 구성 전극, 상기 제2 구성 전극, 상기 제3 구성 전극에 가해지는 위상값은 최소한 1개는 상이하게 형성되는 것을 특징으로 하는, RF 에너지를 이용한 가열 장치.
7	제1항에 있어서,상기 제1 구성 전극, 상기 제2 구성 전극, 상기 제3 구성 전극에 가해지는 진폭값은 최소한 1개는 상이하게 형성되는 것을 특징으로 하는, RF 에너지를 이용한 가열 장치.

캐비티(cavity) 내부에 구비되어 일측에 가열 대상물이 배치되는 제1 전극;상기 제1 전극과 이격 구비되어 가열 대상물에 전기장을 방사하는 제2 전극; 및상기 제1 전극 및 상기 제2 전극과 전기적으로 연결되어 RF 신호를 생성하는 RF 제너레이터;를 포함하며,상기 제2 전극은,서로 이격되어 구비되는 복수의 구성 전극으로 형성되며,복수의 상기 구성 전극은,중심부에 위치하는 제1 구성 전극;상기 제1 구성 전극과 중심을 공유하며, 상기 제1 구성 전극으로부터 이격 형성되는 제2 구성 전극; 및상기 제1 구성 전극 및 상기 제2 구성 전극과 중심을 공유하며, 상기 제2 구성 전극으로부터 이격 형성되는 제3 구성 전극;을 포함하며,상기 제1 구성 전극은 원형으로 형성되고,상기 제2 구성 전극은 상기 제1 구성 전극을 포함하도록 환형으로 형성되고,상기 제3 구성 전극은 상기 제2 구성 전극을 포함하도록 환형으로 형성되되,상기 제2 구성 전극의 폭은 상기 제3 구성 전극의 폭에 비해 넓게 형성되고,상기 제1 구성 전극과 상기 제2 구성 전극 사이에는 제1 간격이 형성되고,상기 제2 구성 전극과 상기 제3 구성 전극 사이에는 제2 간격이 형성되되,상기 제2 간격은 상기 제1 간격에 비해 넓게 형성되는 것을 특징으로 하는, RF 에너지를 이용한 가열 장치.