선단부에 개구가 형성되고, 상기 개구와 연통되는 유로가 내부에 형성된 하우징;외부 공기를 유입하여 상기 유로 내에서 상기 개구를 향해 기류를 형성하는 기류 형성부;액상의 매질을 증발시키고, 증발된 매질 입자를 상기 팬과 상기 개구 사이 구간으로 공급하는 매질 입자 공급부; 및상기 팬과 상기 매질 입자 공급부의 사이 구간에서 활성화 가스를 생성하는 활성화 가스 발생부를 포함하는 매질 입자 공급 장치.

제 1 항에 있어서,상기 매질 입자 공급부는상면이 개방되고, 상기 유로와 연통되는 내부 공간이 형성된 용기;상기 용기의 바닥면을 가열하는 히터; 및상기 용기의 바닥면으로 상기 액상의 매질을 액적 상태로 떨어뜨리는 인젝터를 포함하는 매질 입자 공급 장치.

제 2 항에 있어서,상기 인젝터는상기 하우징의 상면으로부터 상기 유로를 가로질러 아래로 연장되며, 토출구가 상기 용기의 내부 공간에 위치하는 매질 입자 공급 장치.

제 2 항에 있어서,상기 용기의 바닥면은 중심 영역이 상부로 돌출된 볼록한 곡면인 매질 입자 공급 장치.

제 4 항에 있어서,상기 용기의 바닥면에는상기 액상의 매질이 액적 상태로 떨어지는 메인 홈; 및상기 메인 홈으로부터 방사상으로 소정 길이로 연장되는 복수의 가이드 홈이 형성되는 매질 입자 공급 장치.

제 1 항에 있어서,상기 기류 형성부는상기 하우징의 후단에 위치하는 팬; 및상기 팬과 상기 용기 사이에 위치하며, 상기 유로를 따라 흐르는 기류를 가열하는 건조 히터를 포함하는 매질 입자 공급 장치.