| 번호 | 청구항 |
|---|---|
| 4 | 제 2 항에 있어서,상기 가열 플레이트의 상면은 중심 영역이 상부로 돌출된 볼록한 곡면으로 제공되는 활성화 매질 분사 장치. |
| 3 | 제 2 항에 있어서,상기 매질 공급 노즐은상기 유로와 상기 가열 플레이트 사이 구간에서 상기 용기 내부에 위치하는 활성화 매질 분사 장치. |
| 1 | 선단부에 개구가 형성되고, 상기 개구와 연통되는 유로가 내부에 형성된 케이스;외부 공기를 유입하여 상기 유로 내에서 상기 개구를 향해 기류를 형성하는 기류 형성부;액상의 매질을 증발시키고, 증발된 매질 입자를 상기 팬과 상기 개구 사이 구간으로 공급하는 매질 입자 공급부; 및상기 팬과 상기 개구 사이 구간으로 활성화 가스를 공급하는 활성화 가스 공급부를 포함하는 활성화 매질 분사 장치. |
| 2 | 제 1 항에 있어서,상기 매질 입자 공급부는상기 유로와 연통되는 내부 공간이 형성된 용기;상기 용기의 바닥면에 제공되며, 내부에 히팅 코일이 제공된 가열 플레이트; 및상기 가열 플레이트의 상면으로 상기 액상의 매질을 액적 상태로 떨어뜨리는 매질 공급 노즐을 포함하는 활성화 매질 분사 장치. |
| 5 | 제 4 항에 있어서,상기 가열 플레이트에는상기 액상의 매질이 액적 상태로 떨어지는 메인 홈; 및상기 메인 홈으로부터 방사상으로 소정 길이로 연장되는 복수의 가이드 홈이 형성되는 활성화 매질 분사 장치. |
| 6 | 제 2 항에 있어서,상기 가열 플레이트의 상면은 중심영역이 아래로 오목한 곡면으로 제공되는 활성화 매질 분사 장치. |
| 7 | 제 2 항에 있어서,상기 가열 플레이트의 상면은 150℃ 내지 200℃로 가열되는 활성화 매질 분사 장치. |
| 8 | 제 1 항에 있어서,상기 기류 형성부는팬; 및상기 팬의 후방에 위치하며, 상기 외부 공기를 가열하는 히팅 코일을 포함하는 활성화 매질 분사 장치. |
| 9 | 제 8 항에 있어서,상기 활성화 가스 공급부는,상기 증발된 매질 입자가 공급되는 지점과 상기 팬 사이 구간으로 상기 활성화 가스를 공급하는 활성화 매질 분사 장치. |
| 10 | 제 9 항에 있어서,상기 활성화 가스 공급부는유전체 튜브;상기 유전체 튜브의 외주면에 제공되는 파워 전극;상기 파워 전극과 소정 간격 이격하여 상기 유전체 튜브의 외주면에 제공되는 접지 전극; 및상기 파워 전극과 상기 접지 전극이 내부에 위치하도록 상기 유전체 튜브의 외주면에 코팅되는 절연체 막을 포함하는 활성화 매질 분사 장치. |
