이황화 몰리브덴 트랜지스터로 구동되는 페로브스카이트 발광 디스플레이 및 이의 제조방법
Perovskite light-emitting display based on molybdenum disulfide transistor and method for manufacturing the same
특허 요약
본 발명의 일 실시예에 따르면, 페로브스카이트 필름의 원자 조성비를 명확히 제어하는 것과 우수한 필름 특성을 보다 쉽게 확보하는 것이 가능하다.
청구항
번호청구항
1

페로브스카이트를 포함하는 발광 다이오드; 및발광 다이오드를 구동하기 위한 이황화 몰리브덴을 포함하는 박막 트랜지스터를 포함하고,상기 페로브스카이트 위에 파릴렌-C(parylene-C)를 포함하는 캡슐화층을 더 포함하는,발광 다이오드 디스플레이.

2

제1항에 있어서,박막 트랜지스터에 포함되는 이황화 몰리브덴은 이중층 이황화 몰리브덴 필름인 것인,발광 다이오드 디스플레이.

3

제1항에 있어서,페로브스카이트는 세슘 납 브롬화물(CsPbBr3)인 것인,발광 다이오드 디스플레이.

4

제1항에 있어서,발광 다이오드는 페로브스카이트의 열 증착(thermal evaporation)에 의해 형성되는 것인,발광 다이오드 디스플레이.

5

제4항에 있어서,발광 다이오드는 페로브스카이트의 단일-소스 증착(single-source deposition)에 의해 형성되는 것인,발광 다이오드 디스플레이.

6

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7

페로브스카이트를 준비하는 단계(S100);이황화 몰리브덴을 준비하는 단계(S200);이황화 몰리브덴을 이용하여 박막 트랜지스터 백플레인을 형성하는 단계(S300); 및박막 트랜지스터 백플레인에 페로브스카이트를 집적하는 단계(S400)를 포함하고,박막 트랜지스터 백플레인에 페로브스카이트를 집적하는 단계(S400)는,상기 페로브스카이트 위에 파릴렌-C를 페시베이션 층으로 증착하는 것을 포함하는 것인,발광 다이오드 디스플레이의 제조방법.

8

제7항에 있어서,이황화 몰리브덴을 준비하는 단계(S200)는,이중층 이황화 몰리브덴을 준비하는 것을 포함하는 것인,발광 다이오드 디스플레이의 제조방법.

9

제7항에 있어서,페로브스카이트를 준비하는 단계(S100)는,세슘 납 브롬화물(CsPbBr3)을 준비하는 것을 포함하는 것인,발광 다이오드 디스플레이의 제조방법.

10

제7항에 있어서,박막 트랜지스터 백플레인에 페로브스카이트를 집적하는 단계(S400)는,페로브스카이트를 열 증착에 의해 백플레인에 증착하는 것을 포함하는 것인,발광 다이오드 디스플레이의 제조방법.

11

제10항에 있어서,박막 트랜지스터 백플레인에 페로브스카이트를 집적하는 단계(S400)는,페로브스카이트를 단일-소스 증착에 의해 백플레인에 증착하는 것을 포함하는 것인,발광 다이오드 디스플레이의 제조방법.

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