| 번호 | 청구항 |
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| 3 | 제 1항에 있어서,상기 위상결정단계에서상기 단위 구조체가 배열되는 위치의 위상은 하기 [수학식 1]에 의해 결정되는 것을 특징으로 하는3D 프린팅을 이용한 유전체 기반 테라헤르츠 메타렌즈 제조방법.[수학식 1](Φ : 위상 변이, λ : 작동 파장, r : 렌즈 중심으로부터의 거리, f : 초점 거리) |
| 4 | 제 1항에 있어서,상기 크기결정단계에서상기 단위 구조체는 배열되는 위치에 맞춰 위상을 조절하기 위해 배열하는 주기(P, period), 폭 (W, width), 높이(H, height) 중 어느 하나의 크기를 조절하는 것을 특징으로 하는3D 프린팅을 이용한 유전체 기반 테라헤르츠 메타렌즈 제조방법. |
| 5 | 제 1항에 있어서,상기 출력단계는상기 유전체 기판은 테라헤르츠 대역에서 투과가 높은 석영, 실리콘, 사파이어 재질 중 어느 하나로 이루어지고,상기 3D 프린터는 광경화형 수지인 레진을 상기 유전체 기판에 사각형 형태의 상기 단위 구조체를 출력하는 것을 특징으로 하는3D 프린팅을 이용한 유전체 기반 테라헤르츠 메타렌즈 제조방법. |
| 6 | 제 1항에 있어서,상기 출력단계의 상기 3D 프린터는광경화성 수지 조형 방식을 이용하며 LCD 패널이 상기 위상결정단계와 상기 크기결정단계에 의해 결정된 상기 단위 구조체의 배열 위치 및 크기에 맞춰 자외선이 통과되도록 픽셀을 조절하고, 상기 LCD 패널을 통과한 자외선은 액체 레진을 경화시켜 상기 단위 구조체를 층별로 순차적으로 생성하는 것을 특징으로 하는3D 프린팅을 이용한 유전체 기반 테라헤르츠 메타렌즈 제조방법. |
| 7 | 제 1항의 제조방법에 의해 제조된 메타렌즈. |
| 1 | 메타렌즈로 입사된 빛이 한 점에 초점을 맺을 수 있도록 단위 구조체의 배열 위치에 따른 위상을 결정하는 위상결정단계와;상기 단위 구조체가 배열되는 위치에 따라 상기 단위 구조체의 크기를 가변시켜 위상을 조절하는 크기결정단계;3D 프린터에 유전체 기판을 설치한 후 위상과 크기가 결정된 상기 단위 구조체를 상기 유전체 기판에 3D 프린터로 출력하여 메타렌즈를 제조하는 출력단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는3D 프린팅을 이용한 유전체 기반 테라헤르츠 메타렌즈 제조방법. |
| 2 | 제 1항에 있어서,출력된 상기 메타렌즈를 세척하여 상기 단위 구조체를 출력하면서 묻은 잔여 레진을 제거하는 세척단계와;세척된 상기 메타렌즈를 UV챔버에 투입하여 자외선 조사를 통해 상기 단위 구조체를 경화시키는 경화단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는3D 프린팅을 이용한 유전체 기반 테라헤르츠 메타렌즈 제조방법. |