| 번호 | 청구항 |
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| 1 | ZIF-8(Zeolitic Imidazolate Framework-8)을 포함하는 박막을 형성하는 제1 단계;상기 박막에 산화 아연을 포함하는 표면 산화층을 형성하고, 상기 ZIF-8의 유기리간드를 분해하는 제2 단계; 및상기 유기리간드를 부식시키는 제3 단계;를 포함하고,상기 제2 단계는 공기 중 열처리를 통해 수행하고,상기 공기 중 열처리는 250 내지 350 ℃에서 수행하고,상기 제3 단계는 상기 박막을 NO2 가스에 노출하여 수행하는,NO2 선택성 가스 센서 물질 제조 방법. |
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| 3 | 제1항에 있어서,상기 제1 단계에서 상기 박막은 수열 반응을 통해 생성하는,NO2 선택성 가스 센서 물질 제조 방법. |
| 4 | 제1항에 있어서,상기 유기리간드는 2-메틸이미다졸인,NO2 선택성 가스 센서 물질 제조 방법. |
| 5 | 삭제 |
| 6 | 삭제 |
| 7 | 제1항에 있어서,상기 제2 단계를 통해 상기 박막에 포함된 ZIF-8 입자 표면의 2 내지 4 nm 두께에 산화층을 형성하는,NO2 선택성 가스 센서 물질 제조 방법. |
| 8 | 제1항에 따른 제조 방법에 의해 제조되고,탄소가 도핑된 산화물로 코팅된 ZIF-8 입자를 포함하는,NO2 선택성 가스 센서 박막. |
| 9 | 제8항에 있어서,상기 탄소가 도핑된 산화물은 상기 ZIF-8 입자의 표면에서 2 내지 4 nm 두께로 코팅된,NO2 선택성 가스 센서 박막. |
| 10 | 제8항에 따른 가스 센서 박막;상기 박막에 접촉하여 형성된 제1 전극; 및상기 박막에 접촉하고, 상기 제1 전극과 이격되어 형성된 제2 전극;을 포함하는,NO2 선택성 가스 센서. |
| 11 | 제10항에 있어서,상기 가스 센서는 0.3 내지 0.5 ppb의 NO2 검출 한계를 가지는,NO2 선택성 가스 센서. |
| 12 | 제10항에 있어서,상기 제1 전극과 상기 제2 전극은 인터디지테이티드(interdigitated) 된,NO2 선택성 가스 센서. |